PLASMA PROCESSING DEVICE AND DETERIORATION DETERMINATION METHOD

• Main Authors: KUMEKAWA Shizuo, FUJIHARA Mitsuteru, TSUNODA Keisuke, HAYASHI Hidematsu
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 01.02.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

This plasma processing device (100) processes a workpiece with a plasma, the plasma processing device (100) comprising: a table (102) on which a focus ring (103) to be inspected is placed; a driving unit that drives the table (102); a driving data acquiring unit that acquires driving data about the table (102) driven by the driving unit; and a determining unit (113) that uses the driving data acquired by the driving data acquiring unit to derive a physical parameter that depends on the mass of the focus ring (103) to be inspected, and determines whether the focus ring (103) to be inspected has deteriorated. Ce dispositif de traitement au plasma (100) traite une pièce à travailler avec un plasma, le dispositif de traitement au plasma (100) comprenant : une table (102) sur laquelle est placée une bague de mise au point (103) à inspecter; une unité d'entraînement qui entraîne la table (102); une unité d'acquisition de données d'entraînement qui acquiert des données d'entraînement concernant la table (102) entraînée par l'unité d'entraînement; et une unité de détermination (113) qui utilise les données d'entraînement acquises par l'unité d'acquisition de données d'entraînement pour dériver un paramètre physique qui dépend de la masse de la bague de mise au point (103) à inspecter, et détermine si la bague de mise au point (103) à inspecter s'est détériorée. プラズマ処理装置（１００）は、プラズマによって加工対象物を加工するプラズマ処理装置（１００）であって、検査対象のフォーカスリング（１０３）を載置するテーブル（１０２）と、テーブル（１０２）を駆動する駆動部と、駆動部によるテーブル（１０２）の駆動データを取得する駆動データ取得部と、駆動データ取得部により取得された駆動データを用いて、検査対象のフォーカスリング（１０３）の質量に依存する物理パラメータを求め、検査対象のフォーカスリング（１０３）が劣化しているか否かを判定する判定部（１１３）と、を備える。