MEASURING INSTRUMENT, METHOD FOR CALCULATING SURFACE EVALUATION INDEX, AND PROGRAM

• Main Authors: UDA Takushi, MOCHIDA Syogo, TERAOKA Yoshitaka
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 05.01.2023
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

A measuring instrument comprises: a single illumination means (1) capable of radiating illumination light to an object to be measured; a two-dimensional photoelectric conversion means (3) disposed in a position in which light regularly reflected from the object to be measured (100) from the illumination light radiated from the illumination means (1) to the object to be measured can be received; a shape distribution acquisition means (4) for acquiring a surface shape distribution of the object to be measured, on the basis of an electrical signal obtained by the two-dimensional photoelectric conversion means (3); a luminance distribution acquisition means (4) for acquiring a two-dimensional luminance distribution of the object to be measured, on the basis of the electrical signal obtained by the two-dimensional photoelectric conversion means (4); and a calculation means (4) for calculating a surface evaluation index for the object to be measured using at least either the surface shape distribution (101) of the object to be measured acquired by the luminance distribution acquisition means, or the two-dimensional luminance distribution (102) of the object to be measured acquired by the luminance distribution acquisition means. L'invention concerne un instrument de mesure comprenant : un moyen d'éclairage unique (1) capable de rayonner une lumière d'éclairage vers un objet à mesurer ; un moyen de conversion photoélectrique bidimensionnel (3) disposé dans une position dans laquelle la lumière régulièrement réfléchie par l'objet à mesurer (100) à partir de la lumière d'éclairage rayonnée par le moyen d'éclairage (1) vers l'objet à mesurer peut être reçue ; un moyen d'acquisition de distribution de forme (4) pour acquérir une distribution de forme de surface de l'objet à mesurer, sur la base d'un signal électrique obtenu par le moyen de conversion photoélectrique bidimensionnel (3) ; un moyen d'acquisition de distribution de luminance (4) pour acquérir une distribution de luminance bidimensionnelle de l'objet à mesurer, sur la base du signal électrique obtenu par les moyens de conversion photoélectrique bidimensionnels (4) ; et un moyen de calcul (4) pour calculer un indice d'évaluation de surface pour l'objet à mesurer en utilisant au moins soit la distribution de forme de surface (101) de l'objet à mesurer acquise par le moyen d'acquisition de distribution de luminance, soit la distribution de luminance bidimensionnelle (102) de l'objet à mesurer acquise par le moyen d'acquisition de distribution de luminance. 測定器は、測定対象物に照明光を照射可能な単一の照明手段（１）と、照明手段（１）から測定対象物（１００）に照射された照明光の測定対象物からの正反射光を受光可能な位置に配置された二次元光電変換手段（３）と、二次元光電変換手段（３）で得られる電気信号に基づいて、測定対象物の表面形状分布を取得する形状分布取得手段（４）と、二次元光電変換手段（４）で得られる電気信号に基づいて、測定対象物の二次元輝度分布を取得する輝度分布取得手段（４）と、形状分布取得手段により取得された測定対象物の表面形状分布（１０１）と、輝度分布取得手段により取得された測定対象物の二次元輝度分布（１０２）の少なくともいずれかを用いて、測定対象物の表面評価指標を演算する演算手段（４）を備えている。