PHOTODETECTOR AND PHOTODETECTION DEVICE

• Main Author: MAEDA, Hidenori
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 14.12.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; COLORIMETRY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

[Problem] To provide a photodetector and a photodetection device which further suppress variation in sensitivity inside a pixel array. [Solution] A photodetector equipped with a semiconductor substrate provided with a photoelectric conversion unit therein, an interpixel shielding unit which delimits a light incidence region of a pixel which corresponds to the photoelectric conversion unit and is provided on the semiconductor substrate, and an on-chip lens provided on the light incidence region of the semiconductor substrate, wherein the edge section of the on-chip lens in at least the diagonal direction of the pixel drops down onto the light incidence region. Le problème à résoudre par la présente invention est de fournir un photodétecteur et un dispositif de photodétection qui suppriment davantage la variation de sensibilité à l'intérieur d'un réseau de pixels. La solution selon l'invention porte sur un photodétecteur équipé d'un substrat semi-conducteur contenant une unité de conversion photoélectrique, d'une unité de blindage interpixel délimitant une zone d'incidence lumineuse d'un pixel correspondant à l'unité de conversion photoélectrique et située sur le substrat semi-conducteur, et d'une lentille sur puce située sur la zone d'incidence lumineuse du substrat semi-conducteur, la section marginale de la lentille sur puce située au moins en diagonale du pixel tombant sur la zone d'incidence lumineuse. 【課題】画素アレイ内での感度ばらつきをより抑制した光検出器、及び光検出装置を提供する。 【解決手段】内部に光電変換部が設けられた半導体基板と、前記半導体基板の上に設けられ、前記光電変換部に対応する画素の光入射領域を画定する画素間遮光部と、前記半導体基板の前記光入射領域の上に設けられたオンチップレンズと、を備え、前記オンチップレンズの少なくとも前記画素の対角方向の縁端部は、前記光入射領域の上に落ち込んでいる、光検出器。