CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, OBSERVATION CONDITION SETTING METHOD, AND PROGRAM

• Main Authors: KIMIZUKA Heita, SAKAKIBARA Makoto, OTSUGA Kazuo
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 14.12.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

A charged particle beam device, which observes a sample by periodically irradiating the sample with a pulsed charged particle beam, comprises a control device that controls the irradiation of the pulsed charged particle beam and the detection of a signal of emitted electrons on the basis of observation conditions. The control device calculates the irradiation period, scanning speed, and pulse width of the pulsed charged particle beam and the detection timing of the signal of emitted electrons on the basis of the current of the charged particle beam emitted from a particle source, and the capacitance and electrical resistance of the sample, and sets observation conditions including the current of the charged particle beam, the irradiation period, scanning speed, and pulse width of the pulsed charged particle beam, and the detection timing of the emitted electron signal. Un dispositif à faisceau de particules chargées, qui observe un échantillon par irradiation périodique de l'échantillon à l'aide d'un faisceau de particules chargées pulsé, comprend un dispositif de commande qui commande l'irradiation du faisceau de particules chargées pulsé et la détection d'un signal d'électrons émis sur la base de conditions d'observation. Le dispositif de commande calcule la période d'irradiation, la vitesse de balayage et la largeur d'impulsion du faisceau de particules chargées pulsé et la synchronisation de détection du signal d'électrons émis sur la base du courant du faisceau de particules chargées émis par une source de particules, et de la capacité et de la résistance électrique de l'échantillon, et définit des conditions d'observation comprenant le courant du faisceau de particules chargées, la période d'irradiation, la vitesse de balayage et la largeur d'impulsion du faisceau de particules chargées pulsé, et la synchronisation de détection du signal d'électrons émis. パルス状の荷電粒子線を周期的に照射して試料を観測する荷電粒子線装置は、観測条件に基づいて、パルス状の荷電粒子線の照射及び放出電子の信号の検出を制御する制御装置を備える。制御装置は、粒子源から照射される荷電粒子線の電流、並びに、試料の静電容量及び電気抵抗に基づいて、パルス状の荷電粒子線の照射周期、走査速度、及びパルス幅と、放出電子の信号の検出タイミングとを算出し、荷電粒子線の電流、パルス状の荷電粒子線の照射周期、走査速度、及びパルス幅、並びに、放出電子の信号の検出タイミングを含む観測条件を設定する。