FILTRATION IN A VAPOR DELIVERY SYSTEM

A filter assembly includes a fluid inlet; a fluid outlet; a conduit; and a filter. The conduit is fluidly connected to the fluid inlet and the filter. The filter is fluidly connected to the conduit and the fluid outlet. The filter assembly is configured for flowing at least one of the following flui...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors THOMAS, Jacob, BATTLE, Scott L
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 07.12.2023
Subjects
Online AccessGet full text

Cover

Loading…
More Information
Summary:A filter assembly includes a fluid inlet; a fluid outlet; a conduit; and a filter. The conduit is fluidly connected to the fluid inlet and the filter. The filter is fluidly connected to the conduit and the fluid outlet. The filter assembly is configured for flowing at least one of the following fluids: MoO2C12, MoOC14, MoC15, WC16, WC15, WOC14, WO2C12, or any combination thereof. The filter is configured to collect a molybdenum residue, a tungsten residue, or any combination thereof from the fluid resulting in the filtered fluid. L'invention concerne un ensemble filtre comprenant une entrée de fluide ; une sortie de fluide ; un conduit ; et un filtre. Le conduit est en communication fluidique avec l'entrée de fluide et le filtre. Le filtre est en communication fluidique avec le conduit et la sortie de fluide. L'ensemble filtre est conçu pour faire circuler au moins l'un des fluides suivants : MoO2C12, MoOC14, MoC15, WC16, WC15, WOC14, WO2C12, ou toute combinaison de ceux-ci. Le filtre est conçu pour collecter un résidu de molybdène, un résidu de tungstène, ou toute combinaison de ceux-ci à partir du fluide résultant dans le fluide filtré.
Bibliography:Application Number: WO2023US24009