IMPROVED FURNACE APPARATUS FOR CRYSTAL PRODUCTION WITH SEED HOLDER REPOSITIONING UNIT

• Main Authors: RICHTER, Jan, CERAN, Kagan
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 23.11.2023
• Subjects: AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUSPOLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR; CHEMISTRY; CRYSTAL GROWTH; METALLURGY; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; SINGLE-CRYSTAL-GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL ORUNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL

The present invention refers to a furnace apparatus comprising a furnace unit, wherein the furnace unit comprises a furnace housing with an outer surface and an inner surface, at least one crucible unit, wherein the crucible unit is arranged inside the furnace housing, wherein the crucible unit comprises a crucible housing, wherein the crucible housing has an outer surface and an inner surface, wherein the inner surface at least partially defines a crucible volume, wherein a receiving space for receiving a source material is arranged or formed inside the crucible volume, wherein a seed holder unit for holding a defined seed wafer is arranged inside the crucible volume, wherein the furnace housing inner wall and the crucible housing outer wall define a furnace volume, at least one heating unit for heating the source material, wherein the receiving space for receiving the source material is at least in parts arranged below the seed holder unit, characterized in that a position adjustment unit for adjustment of the position of the seed holder unit during operation of the furnace apparatus is provided, wherein the position adjustment unit is configured to increase the distance between the seed holder unit and the receiving space by moving the seed holder unit away from the receiving space. La présente invention concerne un appareil de four comprenant une unité de four, l'unité de four comprenant un corps présentant une surface externe et une surface interne, au moins une unité de creuset, l'unité de creuset étant disposée à l'intérieur du corps de four et comprenant un corps, le corps de creuset présentant une surface externe et une surface interne, la surface interne définissant au moins partiellement un volume du creuset, un espace de réception pour recevoir un matériau source étant ménagé ou formé à l'intérieur du volume du creuset, une unité de support de germe pour maintenir une plaquette de germe définie étant disposée à l'intérieur du volume du creuset, la paroi interne du corps de four et la paroi externe du corps de creuset définissant un volume de four, au moins une unité de chauffage pour chauffer le matériau source, l'espace de réception pour recevoir le matériau source étant au moins en partie disposé au-dessous de l'unité de support de germe, caractérisé en ce qu'une unité de réglage de position pour le réglage de la position de l'unité de support de germe pendant le fonctionnement de l'appareil de four est fournie, l'unité de réglage de position étant conçue pour augmenter la distance entre l'unité de support de germe et l'espace de réception par déplacement de l'unité de support de germe à l'opposé de l'espace de réception.