MEMS ELEMENT AND PIEZOELECTRIC ACOUSTIC DEVICE

• Main Authors: IKEUCHI, Shinsuke, NIWA, Ryosuke, MATSUBARA, Hiroshi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 16.11.2023
• Subjects: DEAF-AID SETS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRICITY; LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS; TRANSPORTING

A MEMS element (1) comprises: a piezoelectric element (100) that includes a piezoelectric film (40) that includes a ferroelectric and vibrates when voltage is applied thereto; and a diode part (200) that is electrically connected to the piezoelectric element (100) in parallel and includes at least one diode (200A, 210, 220). Un élément MEMS (1) comprend : un élément piézoélectrique (100) qui comprend un film piézoélectrique (40), lequel comprend un élément ferroélectrique et vibre lorsqu'une tension lui est appliquée ; et une partie diode (200) électriquement connectée à l'élément piézoélectrique (100) en parallèle et comprenant au moins une diode (200A, 210, 220). ＭＥＭＳ素子（１）は、強誘電体を含み、電圧を印加することで振動する圧電膜（４０）を含む圧電素子（１００）と、圧電素子（１００）と電気的に並列に接続され、少なくとも１つのダイオード（２００Ａ，２１０，２２０）を含むダイオード部（２００）とを備える。