AIR SHROUDS WITH INTEGRATED HEAT EXCHANGER

• Main Authors: NELLIKKA, Shainish, DHAMODHARAN, Raja Murali, RAMACHANDRAN, Vinodh, LAU, Shu-Kwan, PALATY, Abraham, WANG, Danny
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 02.11.2023
• Subjects: AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUSPOLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMISTRY; CRYSTAL GROWTH; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; METALLURGY; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; SEMICONDUCTOR DEVICES; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; SINGLE-CRYSTAL-GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL ORUNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL

A heating module for a substrate processing chamber includes heating lamps coupled to a reflector plate and a heat exchanger. The heat exchanger cools a gas within the heating module. A fan within the heating module circulates the gas through apertures in the reflector plate to cool the heating bulbs. The gas is cooled by the heat exchanger, and is recirculated. One or more shrouds directs the gas as the gas is being circulated. Selon l'invention, un module de chauffage pour une chambre de traitement de substrat comprend des lampes chauffantes accouplées à une plaque de réflecteur et à un échangeur thermique. L'échangeur thermique refroidit un gaz à l'intérieur du module de chauffage. Un ventilateur à l'intérieur du module de chauffage fait circuler le gaz par des ouvertures dans la plaque de réflecteur pour refroidir les ampoules chauffantes. Le gaz est refroidi par l'échangeur thermique puis est remis en circulation. Un ou plusieurs collecteurs dirigent le gaz lorsque le gaz est mis en circulation.