MASK MANUFACTURING METHOD BASED ON MULTI-LAYER LASER EMISSION

• Main Authors: KWAK, Byung-Heon, PARK, Jong-kab, HUR, Jun-Gyu
• Format: Patent
• Language: English; French; Korean
• Published: 19.10.2023
• Subjects: ELECTRICITY

According to the present invention, a mask manufacturing method comprises the steps of: setting an opening area on a metal sheet; and emitting a beam at the opening area so as to form an opening, wherein the step of forming the opening further comprises: emitting the beam at a partial area of the opening area, and adjusting the taper angle of the opening on the basis of the beam being emitted at at least one other partial area partially overlapping with the partial area. La présente invention concerne un procédé de fabrication de masque comprenant les étapes consistant à : définir une zone d'ouverture sur une feuille métallique; et émettre un faisceau au niveau de la zone d'ouverture de façon à former une ouverture, l'étape de formation de l'ouverture comprenant en outre : l'émission du faisceau au niveau d'une zone partielle de la zone d'ouverture, et l'ajustement de l'angle de conicité de l'ouverture sur la base du faisceau émis au niveau d'au moins une autre zone partielle chevauchant partiellement la zone partielle. 본 발명에 따르면, 금속 시트 상에 개구의 영역을 설정하는 단계; 및 상기 개구의 영역 상에 빔을 조사하여 상기 개구를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 개구를 형성하는 단계는: 상기 개구의 영역 중 일부 영역에 빔을 조사하고, 상기 일부 영역과 적어도 일부가 중첩하는 적어도 하나의 다른 일부 영역에 빔을 조사하는 것에 기초하여 상기 개구의 테이퍼 각도를 조절하는 단계를 더 포함하는, 마스크 제조 방법이다.