SYSTEM AND METHOD FOR PERFORMING CHARACTERIZATION OF A SAMPLE

• Main Authors: MEHENDALE, Manjusha, ANTONELLI, George Andrew, MUKUNDHAN, Priya, MAIR, Robin A
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 05.10.2023
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

An optical metrology device includes a selectable pump arm that is used to produce a transient response in the target sample and a probe arm and may be configured to perform static Magneto-Optic Kerr Effect (MOKE) measurements or ellipsometry measurements when the pump arm is not selected, and time resolved (TR) MOKE measurements or ellipsometry measurements when the pump arm is selected. The optical metrology device may be further configured to perform opto-acoustic measurements when the pump arm is selected. A pulse shaper in the pump arm may be used to pulse duration, phase, or both, of the incident pump beam to enable measurement of the dependence of the magnetic dynamics on the pump pulse characteristics. The optical metrology device may be configured to operate at a single selectable wavelength or multiple wavelengths in a continuous or discontinuous spectrum. Selon l'invention, un dispositif de métrologie optique comprend un bras de pompe sélectionnable qui est utilisé pour produire une réponse transitoire dans l'échantillon cible et un bras de sonde et peut être configuré pour effectuer des mesures d'effet de Kerr magnéto-optique (MOKE) statique ou des mesures d'ellipsométrie lorsque le bras de pompe n'est pas sélectionné, et des mesures de MOKE à résolution temporelle (TR) ou des mesures d'ellipsométrie lorsque le bras de pompe est sélectionné. Le dispositif de métrologie optique peut en outre être configuré pour effectuer des mesures opto-acoustiques lorsque le bras de pompe est sélectionné. Un conformateur d'impulsions dans le bras de pompe peut être utilisé pour la durée d'impulsion, la phase, ou les deux, du faisceau pompe incident pour permettre la mesure de la dépendance de la dynamique magnétique sur les caractéristiques d'impulsion de pompe. Le dispositif de métrologie optique peut être configuré pour fonctionner à une seule longueur d'onde sélectionnable ou à de multiples longueurs d'onde dans un spectre continu ou discontinu.