ELECTROSTATIC CHUCK

• Main Authors: HAGIHARA Tomoya, SHIKATA Ryouji, SHIMIZU Yuki, ARASHIMA Junya
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 05.10.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION; SEMICONDUCTOR DEVICES

This electrostatic chuck comprises: an internal electrode; and a resin layer that embeds the area around the internal electrode. The resin layer contains a heat-conductive filler. Ce mandrin électrostatique comprend : une électrode interne ; et une couche de résine qui incorpore la zone autour de l'électrode interne. La couche de résine contient une charge thermoconductrice. 本発明の静電チャックは、内部電極と、前記内部電極の周囲を包埋する樹脂層とを備える。前記樹脂層は、熱伝導性フィラーを含有する。