PHOTODETECTION DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING PHOTODETECTION DEVICE, AND ELECTRONIC APPARATUS

• Main Authors: SHIGETOSHI Takushi, SAKAMOTO Toshiki, TAGUCHI Yukari, KAWANO Hiroyuki, NOUDO Shinichiro, MASUDA Yoshiaki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 05.10.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present disclosure pertains to: a photodetection device capable of improving, in each pixel, the light focusing effect of a micro-lens, and improving optical characteristics; a method for manufacturing the photodetection device; and an electronic apparatus. This photodetection device comprises pixels each having: a photoelectric conversion unit that photoelectrically converts incoming light; a micro-lens that causes the incoming light to be focused on the photoelectric conversion unit; and a plurality of projecting parts formed on the micro-lens. Each of the pixels has two or more projecting parts that are different in at least one of width, height, or density. The present disclosure can be applied to, for example, a solid-state imaging device, etc. La présente divulgation concerne : un dispositif de photodétection apte à améliorer, dans chaque pixel, l'effet de focalisation de lumière d'une microlentille, et améliorer les caractéristiques optiques ; un procédé de fabrication du dispositif de photodétection ; et un appareil électronique. Ce dispositif de photodétection comprend des pixels ayant chacun : une unité de conversion photoélectrique qui convertit de manière photoélectrique la lumière entrante ; une microlentille qui amène la lumière entrante à être focalisée sur l'unité de conversion photoélectrique ; et une pluralité de parties de projection formées sur la microlentille. Chacun des pixels comporte deux parties saillantes ou plus qui sont différentes en termes d'au moins une parmi la largeur, la hauteur ou la densité. La présente divulgation peut être appliquée, par exemple, à un dispositif d'imagerie à semi-conducteurs. 本開示は、マイクロレンズの集光効果を画素単位で改善し、光学特性を向上させることができるようにする光検出装置およびその製造方法、並びに電子機器に関する。 光検出装置は、入射光を光電変換する光電変換部と、入射光を光電変換部に集光するマイクロレンズと、マイクロレンズ上に形成された複数の凸部とを有する画素を備える。画素は、幅、高さ、及び、密度の少なくとも一つが異なる２つ以上の凸部を有する。本開示は、例えば、固体撮像装置等に適用できる。