ELASTIC WAVE DEVICE

• Main Author: HAYASHI, Yasunobu
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 05.10.2023
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

Provided is an elastic wave device capable of effectively reducing the electric resistance of an IDT electrode.　The elastic wave device 1 comprises a piezoelectric substrate 2 and an IDT electrode 3 provided on the piezoelectric substrate 2. The IDT electrode 3 has a layer using an electrode material containing a base element A and an additive B, where A is a metal element that is a base element and B is an element that is an additive. The base element A and the additive B are two elements that do not form a compound in a binary phase diagram. In the electrode material, the additive B is dispersed in the base element A in a granular form. L'invention concerne un dispositif à ondes élastiques permettant de réduire efficacement la résistance électrique d'une électrode IDT.　Le dispositif à ondes élastiques (1) comprend un substrat piézoélectrique (2) et une électrode IDT (3) disposée sur le substrat piézoélectrique (2). L'électrode IDT (3) a une couche utilisant un matériau d'électrode contenant un élément de base A et un additif B, A étant un élément métallique qui est un élément de base et B étant un élément qui est un additif. L'élément de base A et l'additif B sont deux éléments qui ne forment pas un composé dans un diagramme de phase binaire. Dans le matériau d'électrode, l'additif B est dispersé dans l'élément de base A sous une forme granulaire. ＩＤＴ電極の電気抵抗を効果的に低くすることができる、弾性波装置を提供する。　弾性波装置１は、圧電性基板２と、圧電性基板２上に設けられているＩＤＴ電極３とを備える。ＩＤＴ電極３が、母元素である金属元素をＡ、添加物である元素をＢとしたときに、母元素Ａ及び添加物Ｂを含む電極材料が用いられた層を有する。母元素Ａ及び添加物Ｂは、２元状態図において化合物を形成しない２種の元素である。電極材料において、添加物Ｂは、母元素Ａ中に粒状に分散している。