SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

• Main Authors: IWASAKI, Akihiro, AMAHISA, Kenji, TANIGUCHI, Shinichi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 28.09.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONVEYING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SHOP CONVEYOR SYSTEMS; STORING; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING; TRANSPORTING

A substrate processing apparatus in which a carrier that houses a plurality of substrates is conveyed by a plurality of conveyance devices from a start point to an end point on a predetermined conveyance path. In a processing unit provided in a portion of the conveyance path, predetermined processing is performed by a liquid processing unit on the plurality of substrates housed in the carrier. The conveyance path is provided with an attitude modification unit that modifies the attitude of the carrier between a vertical attitude and a horizontal attitude. The attitude modification unit modifies the attitude of the carrier so that the carrier is maintained in the vertical attitude in the processing unit and the carrier is maintained in a horizontal attitude at sections other than the processing unit. L'invention concerne un appareil de traitement de substrat dans lequel un support qui loge une pluralité de substrats est transporté par une pluralité de dispositifs de transport d'un point de départ à un point d'extrémité sur un trajet de transport prédéterminé. Dans une unité de traitement disposée dans une partie du trajet de transport, un traitement prédéterminé est effectué par une unité de traitement de liquide sur la pluralité de substrats logés dans le support. Le trajet de transport est pourvu d'une unité de modification d'attitude qui modifie l'attitude du support entre une attitude verticale et une attitude horizontale. L'unité de modification d'attitude modifie l'attitude du support de telle sorte que le support est maintenu dans l'attitude verticale dans l'unité de traitement et le support est maintenu dans une attitude horizontale au niveau de sections autres que l'unité de traitement. 基板処理装置においては、複数の基板を収容するキャリアが、予め定められた搬送経路上で始点から終点に向かって、複数の搬送装置により搬送される。搬送経路の一部分に設けられた処理部では、液処理ユニットによりキャリアに収容された複数の基板に予め定められた処理が行われる。搬送経路には、キャリアの姿勢を鉛直姿勢と水平姿勢との間で変更する姿勢変更部が設けられている。姿勢変更部は、処理部においてキャリアが鉛直姿勢で維持されるようにかつ処理部を除く部分でキャリアが水平姿勢で維持されるように、キャリアの姿勢を変更する。