SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

• Main Authors: IWASAKI, Akihiro, AMAHISA, Kenji, TANIGUCHI, Shinichi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 28.09.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONVEYING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SHOP CONVEYOR SYSTEMS; STORING; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING; TRANSPORTING

In the present invention, a carrier is conveyed along a first conveyance path. A plurality of substrates in the carrier are processed. A first standby unit is provided adjacent to a start point of the first conveyance path The first standby unit passes a carrier in which a plurality of unprocessed substrates are housed to the start point of the first conveyance path. A second standby unit is provided adjacent to an end point of the first conveyance path. The second standby unit receives the carrier in which the plurality of substrates, which have been processed, are housed. The plurality of substrates are removed from the carrier. After use, the carrier is picked up from a standby conveyance path connecting the second standby unit and the first standby unit, and then cleaned. The cleaned carrier is returned to the standby conveyance path. Dans la présente invention, un support est transporté le long d'un premier trajet de transport. Une pluralité de substrats est traitée dans le support. Une première unité d'attente est disposée adjacente à un point de départ du premier trajet de transport. La première unité d'attente passe un support dans lequel une pluralité de substrats non traités est logée au point de départ du premier trajet de transport. Une seconde unité d'attente est disposée adjacente à un point d'extrémité du premier trajet de transport. La seconde unité d'attente reçoit le support dans lequel est logée la pluralité de substrats, qui a été traitée. La pluralité de substrats est retirée du support. Après utilisation, le support est saisi à partir d'un trajet de transport d'attente reliant la seconde unité d'attente et la première unité d'attente, puis nettoyé. Le support nettoyé est renvoyé au trajet de transport d'attente. キャリアが、第１の搬送経路に沿って搬送される。そのキャリア内の複数の基板に処理が行われる。第１の搬送経路の始点に隣接して第１待機部が設けられる。第１待機部は、未処理の複数の基板が収容されたキャリアを第１の搬送経路の始点に渡す。第１の搬送経路の終点に隣接して第２待機部が設けられる。第２待機部は、処理後の複数の基板が収容されたキャリアを受け取る。そのキャリアから複数の基板が取り出される。第２待機部と第１待機部とをつなぐ待機搬送経路から使用後のキャリアが拾い上げられ、洗浄される。洗浄後のキャリアは、待機搬送経路に戻される。