MULTI-WIRE ELECTRIC DISCHARGE MACHINING APPARATUS, MULTI-WIRE ELECTRIC DISCHARGE MACHINING METHOD, THIN PLATE MANUFACTURING METHOD, AND SEMICONDUCTOR WAFER MANUFACTURING METHOD

• Main Authors: OTOMO, Yoichi, YAGI, Tsubasa, ITOKAZU, Atsushi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 28.09.2023
• Subjects: MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL; TRANSPORTING; WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE; WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OFELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKESTHE PLACE OF A TOOL; WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS

Provided is a multi-wire electric discharge machining apparatus comprising: a plurality of guide rollers around which a wire electrode is wound a plurality of times to guide the travel of the wire electrode; a machining power supply that applies a voltage between a workpiece (2) and each of a plurality of cutting wire sections, which are portions of the wire electrode running in parallel between a first guide roller and a second guide roller included in the plurality of guide rollers; a dummy workpiece (25) including a contact surface curved so as to be capable of coming in contact with a portion which is of a curved surface of the workpiece (2) and is other than end points each reached by each of the plurality of cutting wire sections at an end time of the machining of the workpiece (2), the dummy workpiece (25) supporting the workpiece (2) from one side in a first direction in which the workpiece (2) moves relative to the plurality of cutting wire sections; and a pushing mechanism (26) which has a pushing part (28) that can contact the curved surface of the workpiece (2) and which pushes the workpiece (2) toward the dummy workpiece (25) by bringing the workpiece (2) in contact with the holding part (28) from the other side in the first direction. La présente invention concerne un appareil d'usinage par décharge électrique à fils multiples comprenant : une pluralité de rouleaux de guidage autour desquels une électrode en fil est enroulée une pluralité de fois pour guider le déplacement de l'électrode en fil ; une alimentation électrique d'usinage qui applique une tension entre une pièce à usiner (2) et chacune d'une pluralité de sections fils de coupe, qui sont des parties de l'électrode en fil s'étendant en parallèle entre un premier rouleau de guidage et un second rouleau de guidage inclus dans la pluralité de rouleaux de guidage ; une pièce à usiner factice (25) comprenant une surface de contact incurvée de façon à pouvoir venir en contact avec une partie qui est d'une surface incurvée de la pièce à usiner (2) et qui est autre que des points d'extrémité chacun atteint par chacune de la pluralité de sections fils de coupe à un moment de fin de l'usinage de la pièce à usiner (2), la pièce à usiner factice (25) supportant la pièce à usiner (2) d'un côté dans une première direction dans laquelle la pièce à usiner (2) se déplace par rapport à la pluralité de sections fils de coupe ; et un mécanisme de poussée (26) qui présente une partie de poussée (28) qui peut entrer en contact avec la surface incurvée de la pièce à usiner (2) et qui pousse la pièce à usiner (2) vers la pièce à usiner factice (25) en amenant la pièce à usiner (2) en contact avec la partie de maintien (28) à partir de l'autre côté dans la première direction. マルチワイヤ放電加工機は、ワイヤ電極が複数回巻き掛けられて、ワイヤ電極の走行をガイドする複数のガイドローラと、ワイヤ電極のうち、複数のガイドローラに含まれる第１のガイドローラおよび第２のガイドローラの間にて並行する部分である複数の切断ワイヤ部の各々と被加工物（２）との間に電圧を印加する加工電源と、被加工物（２）の曲面のうち被加工物（２）の加工終了時に複数の切断ワイヤ部の各々が到達する終点を除いた部分に接触可能に湾曲した接触面を含み、複数の切断ワイヤ部に対して被加工物（２）が移動する方向である第１の方向における一方の側から被加工物（２）を支持するダミーワーク（２５）と、被加工物（２）の曲面に接触可能な押さえ部（２８）を有し、第１の方向における他方の側から被加工物（２）に押さえ部（２８）を接触させてダミーワーク（２５）の方へ被加工物（２）を押さえ付ける押さえ機構（２６）と、を備える。