ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE

• Main Authors: OISHI Kenta, MAETA Shinichi, MIURA Yukio, MORISHITA Norito
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 21.09.2023
• Subjects: ARTIFICIAL STONE; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CEMENTS; CERAMICS; CHEMISTRY; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDINGMATERIALS; CONCRETE; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION; LIME, MAGNESIA; METALLURGY; REFRACTORIES; SEMICONDUCTOR DEVICES; SLAG; TREATMENT OF NATURAL STONE

This electrostatic chuck member comprises: a plate-shaped substrate that has a placement surface on which a sample is mounted and a lower surface positioned on the reverse side from the placement surface, and that is provided with an electrode layer that is positioned between the placement surface and the lower surface and extends along the placement surface, and a columnar power supply unit that extends from the electrode layer to the lower surface side; and a terminal member that is connected to an end surface of the power supply unit. The outer diameter of the power supply unit is 2 mm or greater. The power supply unit and the terminal member are connected by brazing at a brazed section, and the brazed section is positioned further to the lower surface side than the halfway position between the lower surface of the substrate and the electrode layer. La présente invention concerne un élément de mandrin électrostatique qui comprend : un substrat en forme de plaque ayant une surface de placement sur laquelle un échantillon est monté et une surface inférieure positionnée à l'envers de la surface de placement, et qui est pourvu d'une couche d'électrode positionnée entre la surface de placement et la surface inférieure et s'étendant le long de la surface de placement, et une unité d'alimentation électrique en forme de colonne qui s'étend de la couche d'électrode au côté de surface inférieure ; et un élément terminal qui est connecté à une surface d'extrémité de l'unité d'alimentation électrique. Le diamètre externe de l'unité d'alimentation électrique est supérieur ou égal à 2 mm. L'unité d'alimentation électrique et l'élément terminal sont reliés par brasage au niveau d'une section brasée, et la section brasée est positionnée davantage vers le côté de surface inférieure que la position à mi-chemin entre la surface inférieure du substrat et la couche d'électrode. 試料を搭載する載置面と載置面の反対側に位置する下面とを有し、載置面と下面との間に位置し、載置面に沿って延びる電極層と、電極層から下面側に延びる柱状の給電部と、を備える、板状の基体と、給電部の端面に接続される端子部材と、を備え、給電部の外径は、２ｍｍ以上であり、給電部と端子部材とは、ロウ付け部においてロウ付け接続され、ロウ付け部は、基体の下面と電極層との間の１／２の位置より下面側に位置する、静電チャック部材。