ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER

• Main Authors: TAKAHASHI Kentaro, KUGIMOTO Hironori, YOSHIOKA Yoshiki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 21.09.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION; SEMICONDUCTOR DEVICES

Provided is an electrostatic chuck member provided with a placement surface on which a sample is mounted and a lower surface positioned at a side opposite the placement surface, the electrostatic chuck member comprising: a first plate body, a second plate body, and a third plate body stacked in order in the thickness direction and joined to each other; a first electrode layer positioned between the first plate body and the second plate body; a power-feeding unit joining layer positioned between the second plate body and the third plate body; a columnar first power-feeding unit embedded in the second plate body; and a columnar second power-feeding unit embedded in the third plate body. The first power-feeding unit connects the first electrode layer and the power-feeding unit joining layer, the second power-feeding unit extends from the power-feeding unit joining layer to the lower surface side, and the first electrode layer and the second power-feeding unit are electrically connected through the first power-feeding unit and the power-feeding unit joining layer. L'invention concerne un élément de porte-substrat électrostatique pourvu d'une surface de placement sur laquelle un échantillon est monté et d'une surface inférieure positionnée sur un côté opposé à la surface de placement, l'élément de porte-substrat électrostatique comprenant : un premier corps de plaque, un deuxième corps de plaque et un troisième corps de plaque empilés dans l'ordre dans le sens de l'épaisseur et joints les uns aux autres; une première couche d'électrode positionnée entre le premier corps de plaque et le deuxième corps de plaque; une couche de jonction d'unité d'alimentation en énergie positionnée entre le deuxième corps de plaque et le troisième corps de plaque; une première unité d'alimentation en énergie en colonne incorporée dans le deuxième corps de plaque; et une seconde unité d'alimentation en énergie en colonne incorporée dans le troisième corps de plaque. La première unité d'alimentation en énergie connecte la première couche d'électrode et la couche de jonction d'unité d'alimentation en énergie, la seconde unité d'alimentation en énergie s'étend de la couche de jonction d'unité d'alimentation en énergie jusqu'au côté de surface inférieure, et la première couche d'électrode et la seconde unité d'alimentation en énergie sont électriquement connectées par l'intermédiaire de la première unité d'alimentation en énergie et de la couche de jonction d'unité d'alimentation en énergie. 試料を搭載する載置面と載置面の反対側に位置する下面とが設けられ、厚さ方向に順に積層され互いに接合された第１板体、第２板体、および第３板体と、第１板体と第２板体との間に位置する、第１電極層と、第２板体と第３板体との間に位置する給電部接合層と、第２板体に埋め込まれた柱状の第１給電部と、第３板体に埋め込まれた柱状の第２給電部と、を備え、前記第１給電部は、前記第１電極層と前記給電部接合層とを繋ぎ、前記第２給電部は、前記給電部接合層から前記下面側に延び、第１電極層と第２給電部は、第１給電部、および給電部接合層を介して、電気的に接続されている、静電チャック部材。