RESIDUAL GAS ANALYSER

• Main Authors: MONDT, Eva, VAN DEN BRINK, Jeroen
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 14.09.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Disclosed herein is a residual gas analyser, RGA, for determining the amounts of gas components in a vacuum tool, the RGA comprising a first detector and a second detector, wherein: the first detector is configured so that the largest gas component amount that is determinable by the first detector is greater than the largest gas component amount that is determinable by the second detector; the first detector is configured so that the smallest gas component amount that is determinable by the first detector is less than or equal to the largest gas component amount that is determinable by the second detector; and the second detector is configured so that the smallest gas component amount that is determinable by the second detector is less than the smallest gas component amount that is determinable by the first detector. L'invention concerne un analyseur de gaz résiduel, RGA, pour déterminer les quantités de composants gazeux dans un outil à vide, le RGA comprenant un premier détecteur et un second détecteur, le premier détecteur étant configuré de telle sorte que la plus grande quantité de composants gazeux qui peut être déterminée par le premier détecteur est supérieure à la plus grande quantité de composants gazeux qui peut être déterminée par le second détecteur; le premier détecteur est configuré de telle sorte que la plus petite quantité de composants gazeux qui peut être déterminée par le premier détecteur est inférieure ou égale à la plus grande quantité de composants gazeux qui peut être déterminée par le second détecteur; et le second détecteur est configuré de telle sorte que la plus petite quantité de composants gazeux qui peut être déterminée par le second détecteur est inférieure à la plus petite quantité de composants gazeux qui peut être déterminée par le premier détecteur.