SURFACE TREATMENT DEVICE

• Main Authors: FUKADA, Kazuhiro, KURIHARA, Yoshiaki, NAMBA, Takeshi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 31.08.2023
• Subjects: CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; THEIR RELEVANT APPARATUS; TRANSPORTING

A surface treatment device (1) comprises: a treatment electrode such as a plasma electrode (50) or a sputter electrode (80); a barrel (100) (accommodation unit) that is installed in a position facing the treatment electrode and is rotatable around a rotational axis (113) which is inclined with respect to the horizontal direction in a state in which a material to be processed (W) is accommodated therein; a chamber (10) accommodating the treatment electrode and the barrel; a surface treatment means such as a plasma treatment device (40) or a sputtering device (70) that performs a surface treatment on the material to be processed accommodated in the barrel and includes the treatment electrode; and a servo motor (120) (rotation means) that rotates the barrel around the rotational axis when the surface treatment means performs the surface treatment on the material to be processed. Un dispositif de traitement de surface (1) comprend : une électrode de traitement telle qu'une électrode à plasma (50) ou une électrode de pulvérisation (80) ; un cylindre (100) (unité de réception) qui est installé dans une position faisant face à l'électrode de traitement et qui peut tourner autour d'un axe de rotation (113) qui est incliné par rapport à la direction horizontale dans un état dans lequel un matériau à traiter (W) est reçu en son sein ; une chambre (10) recevant l'électrode de traitement et le cylindre ; un moyen de traitement de surface tel qu'un dispositif de traitement au plasma (40) ou un dispositif de pulvérisation (70) qui effectue un traitement de surface sur le matériau à traiter reçu dans le cylindre et comprend l'électrode de traitement ; et un servomoteur (120) (moyen de rotation) qui fait tourner le cylindre autour de l'axe de rotation lorsque le moyen de traitement de surface effectue le traitement de surface sur le matériau à traiter. 表面処理装置（１）は、プラズマ電極（５０）、スパッタ電極（８０）等の処理電極と、処理電極と対向する位置に設置されて、被処理材（Ｗ）を収容した状態で、水平方向と傾きを有する回転軸（１１３）の周りに回転可能なバレル（１００）（収容ユニット）と、処理電極とバレルとを収容するチャンバー（１０）と、バレルに収容された被処理材に対して表面処理を行う、処理電極を含むプラズマ処理装置（４０）、スパッタリング装置（７０）等の表面処理手段と、表面処理手段が被処理材に対して表面処理を行う際に、バレルを回転軸の周りに回転させるサーボモータ（１２０）（回転手段）とを備える。