DIFFRACTION GRATING MANUFACTURING METHOD AND DIFFRACTION GRATING

• Main Authors: YAEGASHI, Kenta, AONO, Takanori, EBATA, Yoshisada, UCHIDA, Isao
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 24.08.2023
• Subjects: COLORIMETRY; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING

The present invention improves the performance of a diffraction grating. The present invention uses, as a means therefor, a diffraction grating manufacturing method which comprises (a) a step for preparing a substrate provided with a first surface and a second surface on the opposite side of the first surface, (b) a step for forming, on the first surface of the substrate, a photoresist film provided with a first groove having a sinusoidal shape on a third surface on the opposite side to the substrate side, and (c) a step for forming a reflective metal film that fills the first groove having a sinusoidal shape on the third surface of the photoresist film by an electroless plating method, and which is for forming a diffraction grating provided with the reflective metal film. La présente invention améliore les performances d'un réseau de diffraction. La présente invention utilise, en tant que moyen associé, un procédé de fabrication de réseau de diffraction qui comprend (a) une étape de préparation d'un substrat pourvu d'une première surface et d'une deuxième surface sur le côté opposé de la première surface, (b) une étape de formation, sur la première surface du substrat, d'un film de résine photosensible pourvu d'une première rainure ayant une forme sinusoïdale sur une troisième surface sur le côté opposé au côté substrat, et (c) une étape de formation d'un film métallique réfléchissant qui remplit la première rainure ayant une forme sinusoïdale sur la troisième surface du film de résine photosensible par un procédé de dépôt autocatalytique, et qui est destiné à former un réseau de diffraction pourvu du film métallique réfléchissant. 回折格子の性能を向上させる。その手段として、（ａ）第１面および当該第１面の反対側の第２面を備えた基板を用意する工程、（ｂ）基板の第１面上に、基板側とは反対側の第３面に正弦波状の第１溝を備えたフォトレジスト膜を形成する工程、（ｃ）無電解めっき法を用いて、フォトレジスト膜の第３面上に、正弦波状の第１溝を埋め込む反射金属膜を形成する工程、を有し、反射金属膜を備えた回折格子を形成する、回折格子の製造方法を用いる。