DEVICE INSPECTION APPARATUS AND DEVICE INSPECTION METHOD

• Main Authors: ONAKA Takayuki, FUKAO Tetsuhiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 24.08.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A device inspection apparatus (50) comprises: a plurality of probe heads (3); an inspection unit (4) that measures inspection value data (data1) for each semiconductor device (2); a storage unit (16) that stores inspection result data (data3) including the inspection value data (data1) and a result (data2) of determination for the semiconductor device (2); and an analysis unit (15) that, by means of statistical processing based on a plurality of inspection result data items (data3) that are present for each inspection item recorded in the storage unit (16), performs an analysis to determine if there is a significant difference between a plurality of inspection result data items (data3) for each probe head (3), and determines that the probe head (3) is abnormal if there is a significant difference. Un appareil d'inspection de dispositifs (50) comprend : une pluralité de têtes de sonde (3) ; une unité d'inspection (4) qui mesure des données de valeurs d'inspection (données 1) pour chaque dispositif à semi-conducteur (2) ; une unité de stockage (16) qui stocke des données de résultat d'inspection (données 3) comprenant les données de valeurs d'inspection (données 1) et un résultat (données 2) de détermination pour le dispositif à semi-conducteur (2) ; et une unité d'analyse (15) qui, au moyen d'un traitement statistique basé sur une pluralité d'éléments de données de résultat d'inspection (données 3) qui sont présents pour chaque élément d'inspection enregistré dans l'unité de stockage (16), effectue une analyse pour déterminer s'il existe une différence significative entre une pluralité d'élements de données de résultat d'inspection (données 3) pour chaque tête de sonde (3) et détermine que la tête de sonde (3) est anormale si la différence est considérable. デバイス検査装置（５０）は、複数のプローブヘッド（３）と、半導体デバイス（２）毎の検査値データ（ｄａｔａ１）を測定する検査部（４）と、検査値データ（ｄａｔａ１）及び半導体デバイス（２）の判定の結果（ｄａｔａ２）を含む検査結果データ（ｄａｔａ３）を記憶する記憶部（１６）と、記憶部（１６）に記録された検査項目毎に存在する複数の検査結果データ（ｄａｔａ３）に基づいた統計処理により、プローブヘッド（３）毎の複数の検査結果データ（ｄａｔａ３）間に有意差があるかを解析し、有意差がある場合に当該プローブヘッド（３）が異常であると判定する解析部（１５）、とを備えている。