INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD

• Main Author: TSUKAMOTO, Takeo
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.08.2023
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

According to the present invention, an inspection device for inspecting an object under inspection comprises an x-ray generation tube, an x-ray detector, and an adjustment mechanism. The x-ray generation tube: has a target that includes an x-ray generator that generates x-rays as a result of being irradiated with an electron beam; and emits x-rays toward an inspected surface of the object under inspection. The x-ray detector detects x-rays that have undergone total reflection at the inspected surface after being emitted from contaminants at the inspected surface as irradiated with x-rays from the x-ray generator. The adjustment mechanism adjusts the relative positions of the inspected surface and the x-ray detector. Selon la présente invention, un dispositif d'inspection destiné à inspecter un objet en cours d'inspection comprend un tube de génération de rayons X, un détecteur de rayons X et un mécanisme de réglage. Le tube de génération de rayons X : a une cible qui comprend un générateur de rayons X qui génère des rayons X à la suite de son irradiation avec un faisceau d'électrons ; et émet des rayons X vers une surface inspectée de l'objet en cours d'inspection. Le détecteur de rayons X détecte des rayons X qui ont subi une réflexion totale au niveau de la surface inspectée après avoir été émis à partir de contaminants au niveau de la surface inspectée lorsqu'elle est irradiée avec des rayons X provenant du générateur de rayons X. Le mécanisme de réglage règle les positions relatives de la surface inspectée et du détecteur de rayons X. 検査対象物を検査する検査装置は、電子線が照射されることによってＸ線を発生するＸ線発生部を含むターゲットを有し、前記検査対象物の検査対象面に向けてＸ線を放射するＸ線発生管と、前記Ｘ線発生部からのＸ線が照射された前記検査対象面に存在する異物から放射され前記検査対象面で全反射されたＸ線を検出するＸ線検出器と、前記検査対象面と前記Ｘ線検出器との相対位置を調整する調整機構と、を備える。