CONVEYANCE DEVICE AND CONVEYANCE METHOD

• Main Authors: TOYOMAKI, Toshiaki, AMIKURA, Norihiko
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 27.07.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONVEYING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SHOP CONVEYOR SYSTEMS; STORING; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING; TRANSPORTING

This conveyance device comprises a housing and a conveyance robot which is provided inside the housing and has a multi-joint arm. The housing has: a first side wall in contact with a load-lock module; and a second side wall which is provided at a position facing the first side wall, and is provided with an opening section to which a container for containing a substrate or a member which is a consumable component is connected. The conveyance robot has a fork which is provided at the leading end of the arm and on which a member can be placed. When a member inside the container connected to the opening section is carried out, the fork moves, while the orientation of the fork is oblique to the opening surface of the opening section, in a direction perpendicular to the opening surface and is thus inserted into the container. L'invention concerne un dispositif de transport comprenant un logement et un robot de transport disposé à l'intérieur du logement et pourvu d'un bras à articulations multiples. Le logement comprend : une première paroi latérale en contact avec un module de verrouillage de charge ; et une deuxième paroi latérale disposée dans une position faisant face à la première paroi latérale et pourvue d'une partie ouverture à laquelle est relié un conteneur destiné à contenir un substrat ou un élément qui est un composant consommable. Le robot de transport comporte une fourche disposée au niveau de l'extrémité avant du bras et sur laquelle un élément peut être placé. Lorsqu'un élément à l'intérieur du conteneur relié à la partie ouverture est réalisé, la fourche se déplace, tandis que son orientation est oblique par rapport à la surface d'ouverture de la partie ouverture, dans une direction perpendiculaire à la surface d'ouverture, et est ainsi insérée dans le conteneur. 搬送装置は、筐体と、筐体内に設けられ、多関節のアームを有する搬送ロボットとを備える。筐体は、ロードロックモジュールと接する第１の側壁と、第１の側壁に対向する位置に設けられ、基板または消耗部品である部材を収容する容器が接続される開口部が設けられた第２の側壁とを有する。搬送ロボットは、アームの先端に設けられ、部材が載せられるフォークを有する。フォークは、開口部に接続された容器内の部材を搬出する際に、開口部の開口面に対してフォークの姿勢が斜めの状態で開口面に対して垂直な方向に移動することにより容器内に挿入される。