DEFECT DETECTING DEVICE, AND DEFECT DETECTING METHOD

• Main Authors: OTA, Yoshiyuki, NAKANO, Ryusuke, NAKATA, Takeo
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 20.07.2023
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

This defect detecting device comprises: an illuminating machine for shining light onto a surface of an object under inspection; a two-dimensional imaging machine which has a visual axis in a normal line direction of the surface of the object under inspection, has a two-dimensional region defined by a first axis in a direction corresponding to a movement direction of the surface of the object under inspection and a second axis in a direction corresponding to a direction perpendicular to the visual axis and the first axis, and generates a plurality of captured images; and a defect detecting machine for detecting a defect on the surface of the object under inspection on the basis of the captured images. The defect detecting machine executes: processing (#5) for setting, in each captured image, a plurality of acquisition regions which are disposed in mutually different positions in the first axis direction and each of which extends in the second axis direction; processing (#10) for linking, for each acquisition region, images included in each acquisition region of the captured images that are generated sequentially in conjunction with the movement of the surface of the object under inspection, to generate a plurality of linked images corresponding to the plurality of acquisition regions; and processing (#15) for detecting a pixel group corresponding to a defect from the plurality of linked images. Ce dispositif de détection de défaut comprend : une machine d'éclairage pour projeter la lumière sur une surface d'un objet en cours d'inspection ; une machine d'imagerie bidimensionnelle qui présente un axe visuel dans une direction de ligne normale de la surface de l'objet en cours d'inspection, comporte une région bidimensionnelle définie par un premier axe dans une direction correspondant à une direction de mouvement de la surface de l'objet en cours d'inspection et un second axe dans une direction correspondant à une direction perpendiculaire à l'axe visuel et au premier axe, et génère une pluralité d'images capturées ; et une machine de détection de défaut pour détecter un défaut sur la surface de l'objet en cours d'inspection sur la base des images capturées. La machine de détection de défaut exécute : un traitement (# 5) pour définir, dans chaque image capturée, une pluralité de régions d'acquisition qui sont disposées dans des positions mutuellement différentes dans la première direction d'axe et dont chacune s'étend dans la seconde direction d'axe ; un traitement (# 10) pour lier, pour chaque région d'acquisition, des images incluses dans chaque région d'acquisition des images capturées qui sont générées séquentiellement conjointement avec le mouvement de la surface de l'objet en cours d'inspection, afin de générer une pluralité d'images liées correspondant à la pluralité de régions d'acquisition ; et un traitement (# 15) pour détecter un groupe de pixels correspondant à un défaut à partir de la pluralité d'images liées. 欠陥検出装置は、被検査体の表面に光を照射する照明機と、被検査体の表面の法線方向に視軸を有し、被検査体の表面の移動方向に対応する方向の第１軸と、視軸及び第１軸に直交する方向に対応する方向の第２軸とで規定される２次元領域を有する、複数の撮像画像を生成する２次元撮像機と、撮像画像に基づいて、被検査体の表面の欠陥を検出する欠陥検出機と、を備える。欠陥検出機は、撮像画像の各々において、第１軸の方向で互いに異なる位置に配置され、それぞれ第２軸の方向に延びる複数の取り込み領域を設定する処理（＃５）と、被検査体の表面の移動に伴って逐次生成される撮像画像の各々の取り込み領域に含まれる画像を、取り込み領域毎に連結することで、複数の取り込み領域に対応する複数の連結画像を生成する処理（＃１０）と、複数の連結画像から欠陥に対応する画素群を検出する処理（＃１５）と、を実行する。