PHOTOELECTRIC CONVERSION DEVICE, PHOTOELECTRIC CONVERSION SYSTEM, AND MOBILE BODY

• Main Authors: MORIMOTO Kazuhiro, IWATA Junji, HAYASHI Yoshiyuki, MAEHASHI Yu
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 13.07.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

This photoelectric conversion device comprises a first substrate provided with a plurality of avalanche photodiodes, a second substrate provided with a plurality of pixel circuits, and a third substrate provided with a signal processing circuit. The second substrate and the third substrate are laminated so that a third wiring structure is provided between two semiconductor layers of the second substrate and the third substrate. The photoelectric conversion device further comprises a first through-wire extending through the semiconductor layer of the third substrate. L'invention concerne un dispositif de conversion photoélectrique comprenant : un premier substrat comportant une pluralité de photodiodes à avalanche ; un deuxième substrat comportant une pluralité de circuits de pixels ; et un troisième substrat comportant un circuit de traitement de signal. Le deuxième substrat et le troisième substrat sont stratifiés de telle sorte qu'une troisième structure de câblage est disposée entre deux couches semi-conductrices du deuxième substrat et du troisième substrat. Le dispositif de conversion photoélectrique comprend en outre un premier fil traversant s'étendant à travers la couche semi-conductrice du troisième substrat. 複数のアバランシェフォトダイオードを備えた第１基板と、複数の画素回路を備えた第２基板と、信号処理回路を備えた第３基板と、を有する。第２基板と第３基板が有する２つの半導体層との間に第３配線構造が設けられるように、第２基板と第３基板が積層されている。第３基板が有する半導体層を貫通する第１貫通配線を有する。