APPARATUS FOR HEATING FLAT SUBSTRATE HAVING VCSEL MODULES

• Main Authors: LEE, Joon Hee, PARK, Wang Jun, KIM, Hyoung June, KIM, Byung Kuk
• Format: Patent
• Language: English; French; Korean
• Published: 06.07.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Disclosed in the present invention is an apparatus for heating a flat substrate comprising: a module support plate having a plurality of unit module areas on the upper surface thereof; a plurality of VCSEL modules having a plurality of VCSEL elements and seated on the unit module areas of the module support plate; a power supply substrate located under the module support plate and supplying power to the VCSEL modules; and an electrode terminal that electrically connects a laser light source module and the power supply substrate while detachably fixing the laser light source module and the power supply substrate to the upper and lower surfaces of the module support plate, wherein the module support plate has a cooling water supply unit for supplying cooling water to the VCSEL modules formed therein. La présente invention concerne un appareil pour chauffer un substrat plat comprenant : une plaque de support de module ayant une pluralité de zones de module unitaire sur sa surface supérieure ; une pluralité de modules VCSEL ayant une pluralité d'éléments VCSEL et logés sur les zones de module unitaire de la plaque de support de module ; un substrat d'alimentation électrique situé sous la plaque de support de module et fournissant de l'énergie aux modules VCSEL ; et une borne d'électrode qui connecte électriquement un module de source de lumière laser et le substrat d'alimentation électrique tout en fixant de manière amovible le module de source de lumière laser et le substrat d'alimentation électrique aux surfaces supérieure et inférieure de la plaque de support de module, la plaque de support de module ayant une unité d'alimentation en eau de refroidissement pour fournir de l'eau de refroidissement aux modules VCSEL formés à l'intérieur de celle-ci. 본 발명은 상면에 복수 개의 단위 모듈 영역을 구비하는 모듈 지지판과, 복수 개의 VCSEL 소자를 구비하며, 상기 모듈 지지판의 단위 모듈 영역에 각각 안착되는 복수 개의 VCSEL 모듈과, 상기 모듈 지지판의 하부에 위치하며 상기 VCSEL 모듈에 전력을 공급하는 전력 공급 기판 및 상기 레이저 광원 모듈과 전력 공급 기판을 상기 모듈 지지판의 상면과 하면에 분리 가능하게 고정하면서 전기적으로 연결하는 전극 단자를 포함하며, 상기 모듈 지지판은 내부에 상기 VCSEL 모듈에 냉각수를 공급하는 냉각수 공급부가 형성되는 평판 기판 가열 장치를 개시한다.