EXPOSURE DEVICE

• Main Authors: KATO, Masaki, KAWADO, Satoshi, MIZUNO, Yasushi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 06.07.2023
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

[Problem] To achieve a uniform cumulative illuminance distribution on a surface to be irradiated. [Solution] This exposure device irradiates an object to be scanned in a scanning direction with light from a spatial light modulator (10) and exposes the object. The exposure device is provided with an illumination unit (ILU) that illuminates the spatial light modulator (10) with illumination light. The illumination unit (ILU) comprises an optical integrator on which the illumination light is incident, and a light reducing member (FS) that is disposed in a light path between an emission surface of the optical integrator and the spatial light modulator (10) and at a position not in contact with the optical integrator and the spatial light modulator (10), and reduces part of the illumination light. Le problème décrit par la présente invention est d'obtenir une distribution d'éclairement cumulatif uniforme sur une surface à irradier. La solution selon l'invention porte sur un dispositif d'exposition qui irradie un objet à balayer dans une direction de balayage avec de la lumière provenant d'un modulateur spatial de lumière (10) et qui expose l'objet. Le dispositif d'exposition est pourvu d'une unité d'éclairage (ILU) qui éclaire le modulateur spatial de lumière (10) avec une lumière d'éclairage. L'unité d'éclairage (ILU) comprend un intégrateur optique sur lequel la lumière d'éclairage est incidente, et un élément de réduction de lumière (FS) qui est disposé dans un trajet de lumière entre une surface d'émission de l'intégrateur optique et le modulateur spatial de lumière (10) et à une position qui n'est pas en contact avec l'intégrateur optique et le modulateur spatial de lumière (10), et qui réduit une partie de la lumière d'éclairage. 【課題】被照射面上の積算照度分布を均一化する。 【解決手段】走査方向に走査される物体に空間光変調器（１０）からの光を照射して、前記物体を露光する露光装置であって、前記空間光変調器（１０）を照明光で照明する照明ユニット（ＩＬＵ）を備え、前記照明ユニット（ＩＬＵ）は、前記照明光が入射するオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータの出射面と前記空間光変調器（１０）の間の光路上であって、前記オプティカルインテグレータと前記空間光変調器（１０）に接しない位置に配置され、前記照明光の一部を減光する減光部材（ＦＳ）と、を有する。