ELECTRONIC CLEANING DEVICE

• Main Authors: TAKEUCHI Koichiro, HOSOYA Kotaro, KUBONAKA Yuto, OHNO Masaomi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 29.06.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Electron irradiation from a cleaner that uses electrons dissociates hydrocarbon-based gas, which is a precursor to contamination, causing deposition of carbon on members inside a specimen chamber and on a specimen surface, thereby contaminating components inside the specimen chamber. As such, provided is a device comprising: a specimen chamber 101 that is connected to a lens tube 112 which has a charged particle source 113; an electron source 102 that is disposed in the specimen chamber 101; and a shielding plate 105 that is provided to the front of the electron source 102, wherein the inside of the specimen chamber is cleaned by secondary electrons, which are emitted due to primary electrons emitted from the electron source colliding with the shielding plate. L'invention concerne un rayonnement d'électrons provenant d'un dispositif de nettoyage qui utilise des électrons, dissocie un gaz à base d'hydrocarbure, qui est un précurseur de contamination, provoquant le dépôt de carbone sur des éléments à l'intérieur d'une chambre d'échantillon et sur une surface d'échantillon, ce qui permet de contaminer des composants à l'intérieur de la chambre d'échantillon. En tant que tel, l'invention concerne un dispositif comprenant : une chambre d'échantillon 101 qui est reliée à un tube de lentille 112 qui a une source de particules chargées 113 ; une source d'électrons 102 qui est disposée dans la chambre d'échantillon 101 ; et une plaque de blindage 105 qui est disposée à l'avant de la source d'électrons 102, l'intérieur de la chambre d'échantillon étant nettoyé par des électrons secondaires, qui sont émis en raison d'électrons primaires émis par la source d'électrons entrant en collision avec la plaque de blindage. 電子を用いたクリーナの電子照射により、コンタミネーションの前駆体である炭化水素系ガスが解離され、試料室内の部材や試料表面に炭素が積層され、試料室内部品が汚染される。そこで、荷電粒子源１１３を有する鏡筒１１２に接続された試料室１０１と、試料室１０１に配置される電子源１０２と、電子源１０２の前面に設置された遮蔽板１０５と、を備え、電子源から放出される一次電子が遮蔽板に衝突することで放出される二次電子により、試料室内のクリーニングを行う構成の装置を提供する。