OPTICAL FILTER AND STERILIZATION DEVICE

The present invention provides an optical filter which is capable of effectively transmitting ultraviolet light that has a wavelength of 220 nm to 225 nm, while suppressing transmission of ultraviolet light that has a wavelength of 240 nm to 320 nm. An optical filter 1 according to the present inven...

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Main Author HIMEI, Yusuke
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 22.06.2023
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Summary:The present invention provides an optical filter which is capable of effectively transmitting ultraviolet light that has a wavelength of 220 nm to 225 nm, while suppressing transmission of ultraviolet light that has a wavelength of 240 nm to 320 nm. An optical filter 1 according to the present invention is provided with a transparent base material 2 and a multilayer dielectric film 3 that contains hafnium oxide and is arranged on the transparent base material 2; and if Ic is the diffraction intensity of a diffraction peak of the (1 1 1) crystal plane associated with a cubic hafnium oxide crystal, Im is the diffraction intensity of a diffraction peak of the (-1 1 1) crystal plane associated with a monoclinic hafnium oxide crystal, and Ia is the diffraction intensity of a diffraction peak associated with an amorphous hafnium oxide, the crystallization parameter P obtained by formula (1) is 0.7 or more. (1): P = (2 × Ic + Im)/(Ic + Im + Ia) La présente invention concerne un filtre optique qui est capable de transmettre efficacement une lumière ultraviolette qui a une longueur d'onde de 220 nm à 225 nm, tout en supprimant la transmission de lumière ultraviolette qui a une longueur d'onde de 240 nm à 320 nm. Un filtre optique 1 selon la présente invention est pourvu d'un matériau de base transparent 2 et d'un film diélectrique multicouche 3 qui contient de l'oxyde d'hafnium et est disposé sur le matériau de base transparent 2 ; et si Ic est l'intensité de diffraction d'un pic de diffraction du plan cristallin (1 1 1) associé à un cristal d'oxyde d'hafnium cubique, Im est l'intensité de diffraction d'un pic de diffraction du plan cristallin (-1 1 1) associé à un cristal d'oxyde d'hafnium monoclinique, et Ia est l'intensité de diffraction d'un pic de diffraction associé à un oxyde d'hafnium amorphe, le paramètre de cristallisation P obtenu par la formule (1) est supérieur ou égal à 0,7. (1) : P = (2 × Ic + Im)/(Ic + Im + Ia) 波長240nm~320nmにおける紫外線の透過を抑制しつつ、波長220nm~225nmにおける紫外線を効果的に透過させることができる、光学フィルタを提供する。 透明基材2と、透明基材2上に設けられており、酸化ハフニウムを含む、誘電体多層膜3とを備え、X線回折測定において、立方晶系酸化ハフニウム結晶に由来する(1 1 1)結晶面による回折ピークの回折強度をIcとし、単斜晶系酸化ハフニウム結晶に由来する(-1 1 1)結晶面による回折ピークの回折強度をImとし、非晶質酸化ハフニウムに由来する回折ピークの回折強度をIaとしたときに、下記式(1)における結晶化パラメータPが、0.7以上である、光学フィルタ1。 P=(2×Ic+Im)/(Ic+Im+Ia)...式(1)
Bibliography:Application Number: WO2022JP45959