RESONATOR AND RESONATING DEVICE

Provided are a resonator and a resonating device which make it possible to suppress occurrence of a combination of main mode vibration and spurious mode vibration. A resonator 10 is provided with: a vibration unit 110 including three or more of vibration arms 121 which respectively have fixed ends,...

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Main Authors ENDOU, Fumiya, KAWAI, Ryota
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 22.06.2023
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Summary:Provided are a resonator and a resonating device which make it possible to suppress occurrence of a combination of main mode vibration and spurious mode vibration. A resonator 10 is provided with: a vibration unit 110 including three or more of vibration arms 121 which respectively have fixed ends, and at least two of which are bent out of plane in different phases, and including a base 130 having one end to which the fixed ends of the vibration arms 121 are connected and the other end opposite to the one end; a holding unit 140 configured to hold the vibration unit 110; and a support arm 151 connected, at one end thereof, to the holding unit 140 and connected, at the other end thereof, to the other end of the base 130. The support arm 151 has a reduction membrane LM configured to reduce a Q-factor of vibration of the support arm 151. L'invention concerne un résonateur et un dispositif résonant qui permettent de supprimer l'apparition d'une combinaison de vibrations de mode principal et de vibration de mode parasite. Un résonateur 10 est pourvu : d'une unité de vibration 110 comprenant au moins trois bras de vibration 121 qui ont respectivement des extrémités fixes, et dont au moins deux sont courbés hors du plan dans différentes phases, et comprenant une base 130 ayant une extrémité à laquelle les extrémités fixes des bras de vibration 121 sont reliées et l'autre extrémité opposée à la première extrémité ; d'une unité de maintien 140 configurée pour maintenir l'unité de vibration 110 ; et d'un bras de support 151 relié, à une extrémité de celui-ci, à l'unité de maintien 140 et relié, à son autre extrémité, à l'autre extrémité de la base 130. Le bras de support 151 a une membrane de réduction LM configurée pour réduire un facteur Q de vibration du bras de support 151. メインモードの振動とスプリアスモードの振動との結合の発生を抑制することのできる共振子及び共振装置を提供する。 共振子10は、それぞれが固定端を有する3本以上の複数の振動腕121であって、少なくとも2本が異なる位相で面外屈曲する複数の振動腕121と、複数の振動腕121のそれぞれの固定端が接続された一端と当該一端に対向する他端とを有する基部130と、を含む振動部110と、振動部110を保持するように構成された保持部140と、一端が保持部140に接続され、他端が基部130の他端に接続された支持腕151と、を備え、支持腕151は、支持腕151の振動におけるQ値を低減させるように構成された低減膜LMを有する。
Bibliography:Application Number: WO2022JP30297