SCINTILLATOR PLATE, RADIATION DETECTOR, AND METHOD FOR MANUFACTURING SCINTILLATOR PLATE

• Main Author: OIKE Tomoyuki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 01.06.2023
• Subjects: GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES; IRRADIATION DEVICES; MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION; MEASURING; NUCLEAR ENGINEERING; NUCLEAR PHYSICS; PHYSICS; TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOTOTHERWISE PROVIDED FOR; TESTING

A scintillator plate having: a columnar crystal that is formed on a substrate, emits light corresponding to radiation with which the columnar crystal is irradiated, and has a prescribed column diameter; and a protective film that is provided so as to cover the columnar crystal, is used for protecting the columnar crystal from water vapor, and has a prescribed thickness. The scintillator plate is characterized in that the value of the arithmetic average roughness of the protective film is equal to or less than the value of the column diameter, and the value of the thickness of the protective film is no more than four times the value of the column diameter. L'invention concerne une plaque de scintillateur comportant : un cristal colonnaire qui est formé sur un substrat, émet une lumière correspondant à un rayonnement avec lequel le cristal colonnaire est irradié et a un diamètre de colonne prescrit ; et un film protecteur qui est disposé de façon à recouvrir le cristal colonnaire, est utilisé pour protéger le cristal colonnaire de la vapeur d'eau et a une épaisseur prescrite. La plaque de scintillateur est caractérisée en ce que la valeur de la rugosité en moyenne arithmétique du film protecteur est inférieure ou égale à la valeur du diamètre de colonne et la valeur de l'épaisseur du film protecteur n'est pas supérieure à quatre fois la valeur du diamètre de colonne. 基板上に形成され照射された放射線に応じた光を発する所定の柱径を有する柱状結晶と、柱状結晶を覆うように設けられ柱状結晶を水蒸気から保護するための所定の厚さを有する保護膜と、を有するシンチレータプレートである。保護膜の算術平均粗さの値が柱径の値以下であり、かつ、保護膜の厚さの値が柱径の値の４倍以下であることを特徴とする。