COMPUTER SYSTEM AND METHOD FOR ASSISTING INVESTIGATION OF DEVICE CONDITIONS

• Main Authors: OHMORI Takeshi, NAKADA Hyakka, OKUYAMA Yutaka
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 11.05.2023
• Subjects: CALCULATING; COMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS; COMPUTING; COUNTING; PHYSICS

This computer system assists the investigation of device conditions for controlling a manufacturing device that performs a process. The computer system receives input of training data consisting of combinations of input parameters values representing device conditions and output parameter values representing process results, analyzes the structure of a manufacturing step in the process in reference training data and the structure of a manufacturing step in the process in other training data, performs a classification process in which training data capable of being integrated into a dataset that is identical to the reference training data is specified, generates a dataset on the basis of the classification process result, performs a model training process using the dataset, investigates the input parameter values on the basis of the model and a target value for the output parameter, and presents an interface displaying the investigation result. Le présent système informatique aide à l'examen de conditions de dispositif pour commander un dispositif de fabrication qui effectue un procédé. Le système informatique reçoit une entrée de données d'entraînement consistant en des combinaisons de valeurs de paramètres d'entrée représentant des conditions de dispositif et des valeurs de paramètres de sortie représentant des résultats de processus, analyse la structure d'une étape de fabrication dans le processus dans des données d'entraînement de référence et la structure d'une étape de fabrication dans le procédé dans d'autres données d'entraînement, effectue un processus de classification dans lequel des données d'entraînement pouvant être intégrées dans un ensemble de données qui est identique aux données d'entraînement de référence sont spécifiées, génère un ensemble de données sur la base du résultat du processus de classification, effectue un processus d'entraînement de modèle à l'aide de l'ensemble de données, examine les valeurs de paramètre d'entrée sur la base du modèle et d'une valeur cible pour le paramètre de sortie, et présente une interface affichant le résultat d'examen. 処理を行う製造装置を制御するための装置条件の探索を支援する計算機システムは、装置条件である入力パラメータの値と、処理の結果である出力パラメータの値との組合せから構成される学習データの入力を受け付け、基準学習データにおける処理の製造工程の構造と、他の学習データにおける処理の製造工程の構造とを分析し、基準学習データと同一のデータセットに集約可能な学習データを特定する分類処理を実行し、分類処理の結果に基づいてデータセットを生成し、データセットを用いてモデルの学習処理を実行し、モデル及び出力パラメータの目標値に基づいて、入力パラメータの値を探索し、探索の結果を表示するインタフェースを提示する。