PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE ELEMENT, AND LAMINATE PRODUCTION METHOD

• Main Authors: ONO Keishi, TANAKA Shiho
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.05.2023
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

A photosensitive resin composition containing (A) a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound, and (C) a photoinitiator, wherein: the (B) component includes a polyfunctional compound having three or more ethylenically unsaturated bonds; and the exposure level that renders step 15 as the step held when a layer (thickness of 25 µm) of the photosensitive resin composition is developed after exposure at a wavelength of 405 nm using a 41-step tablet (density range 0.00-2.00, density step 0.05, tablet size 20 mm x 187 mm, individual step size 3 mm x 12 mm) is 30 mJ/cm2 or less. L'invention concerne une composition de résine photosensible qui comprend (A) un polymère liant, (B) un composé photopolymérisable et (C) un initiateur de photopolymérisation. Ledit composant (B) contient un composé polyfonctionnel possédant au moins trois liaisons éthyléniquement insaturées. Dans le cas où une couche (de ２５μｍ) de la composition de résine photosensible de l'invention est soumise à une exposition à la lumière à une longueur d'onde de 405nm à l'aide d'une gamme de densités à 41 échelons (région de concentration ０,００ à ２,００, échelon de concentration ０,０５, dimension de gamme ２０ｍｍ×１８７ｍｍ, dimension de chaque échelon ３ｍｍ×１２ｍｍ), puis est développée, la quantité d'exposition à la lumière pour 15 échelons, en tant que nombre d'échelons résiduels, est inférieure ou égale à ３０ｍＪ／ｃｍ２. （Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、前記（Ｂ）成分が、エチレン性不飽和結合を３つ以上有する多官能化合物を含み、４１段ステップタブレット（濃度領域０．００～２．００、濃度ステップ０．０５、タブレットの大きさ２０ｍｍ×１８７ｍｍ、各ステップの大きさ３ｍｍ×１２ｍｍ）を用いて当該感光性樹脂組成物の層（厚さ２５μｍ）を波長４０５ｎｍで露光した後に現像した場合において残存段数として１５段を与える露光量が３０ｍＪ／ｃｍ２以下である、感光性樹脂組成物。