POLISHING SLURRY DISPENSE NOZZLE

• Main Authors: CHOU, Chih Chung, CHANG, Shou-Sung, MIKHAYLICHENKO, Ekaterina A, LEE, Christopher HeungGyun, IYER, Anand Nilakantan
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 27.04.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS; FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL; GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL; GRINDING; MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY; PERFORMING OPERATIONS; POLISHING; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

Exemplary slurry delivery systems may include a slurry source. The systems may include a slurry line coupled with the slurry source. The systems may include a slurry dispensing nozzle. The nozzle may include a lumen having an inlet that is fluidly coupled with a slurry outlet of the slurry line. The nozzle may include a body defining a reservoir and an exit port. The reservoir may be fluidly coupled with a downstream end of the lumen. The exit port may be coupled with the reservoir. The nozzle may include a valve seat. The nozzle may include a valve member having a first surface positioned against the valve seat when in a closed position. The valve member may be movable to an open position in which the first surface is spaced apart from the valve seat. The nozzle may include an actuator coupled with a second surface of the valve member. Des systèmes de distribution de bouillie donnés à titre d'exemple peuvent comprendre une source de bouillie. Les systèmes peuvent comprendre une conduite de bouillie accouplée à la source de bouillie. Les systèmes peuvent comprendre une buse de distribution de bouillie. La buse peut comprendre une lumière ayant une entrée accouplée de manière fluidique à une sortie de bouillie de la conduite de bouillie. La buse peut comprendre un corps définissant un réservoir et un orifice de sortie. Le réservoir peut être accouplé de manière fluidique à une extrémité aval de la lumière. L'orifice de sortie peut être accouplé au réservoir. La buse peut comprendre un siège de soupape. La buse peut comprendre un élément soupape ayant une première surface positionnée contre le siège de soupape lorsqu'elle est en position fermée. L'élément soupape peut être mobile vers une position ouverte dans laquelle la première surface est espacée du siège de soupape. La buse peut comprendre un actionneur accouplé à une seconde surface de l'élément soupape.