MODULAR TRAY FOR SOLID CHEMICAL VAPORIZING CHAMBER

• Main Authors: THOMAS, Jacob, BATTLE, Scott L, OLSON, Benjamin H, GREGG, John N
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 15.02.2024
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

A modular tray for an ampoule of a delivery system of solid precursor materials used in Atomic Layer Deposition (ALD) processes, Chemical Vapor Deposition (CVD) processes or both. The modular tray is configured with separate components which can enhance the ease of which the modular tray can be inserted into the ampoule, and the tray is configured to make improved contact with inner wall surfaces of the ampoule to provide improved heat transfer from the inner wall to the modular tray and ultimately to the solid precursor materials disposed on the modular tray. Plateau modulaire destiné à une ampoule d'un système de distribution de matériaux précurseurs solides utilisés dans des procédés de dépôt de couche atomique (ALD), des procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou les deux. Le plateau modulaire est conçu avec des éléments séparés pouvant améliorer la facilité d'introduction du plateau modulaire dans l'ampoule, et le plateau est conçu pour se mettre en contact de façon améliorée avec les surfaces de paroi interne de l'ampoule, afin d'assurer un transfert de chaleur amélioré de la paroi interne au plateau modulaire et finalement aux matériaux précurseurs solides disposés sur le plateau modulaire.