PURGE DEVICE

• Main Authors: WADA Yoshiya, ITO Yasuhisa, YAMAJI Takashi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 06.04.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A purge device (10) comprises: a placement section (8) on which a container (F) is placed by a transfer device (30); a purge nozzle (11) provided on the placement section (8); a controller (13) that implements control such that a purge process is implemented to supply a purge gas through the purge nozzle (11) into the container (F) placed on the placement section (8); and approach detection sensors (18, 28) that detect the approach of the transfer device (30) or the container (F) to directly above the placement section (8) in a case in which the transfer device (30) causes the container (F) to approach directly above the placement section (8) from the front side or depth side of the placement section (8). On the basis of the detection results of the approach detection sensors (18, 28), the controller (13) implements control so as to discharge the purge gas from the purge nozzle (11) before implementation of the purge process. L'invention concerne un dispositif de purge (10) comprenant : une section de placement (8) sur laquelle un récipient (F) est mis en place par un dispositif de transfert (30) ; une buse de purge (11) disposée sur la section de placement (8) ; un dispositif de commande (13) qui met en œuvre une commande de telle sorte qu'un processus de purge est mis en œuvre pour fournir un gaz de purge à travers la buse de purge (11) dans le récipient (F) placé sur la section de placement (8) ; et des capteurs de détection d'approche (18, 28) qui détectent l'approche du dispositif de transfert (30) ou le récipient (F) au-dessus de la section de placement (8) dans un cas où le dispositif de transfert (30) amène le récipient (F) à s'approcher directement au-dessus de la section de placement (8) depuis le côté avant ou le côté de profondeur de la section de placement (8). Sur la base des résultats de détection des capteurs de détection d'approche (18, 28), le dispositif de commande (13) met en œuvre une commande de manière à décharger le gaz de purge de la buse de purge (11) avant la mise en œuvre du procédé de purge. パージ装置（１０）は、移載装置（３０）によって容器（Ｆ）が載置される載置部（８）と、載置部（８）に設けられたパージノズル（１１）と、載置部（８）に載置された容器（Ｆ）内にパージノズル（１１）を介してパージガスを供給するパージ処理が実施されるように制御するコントローラ（１３）と、移載装置（３０）が載置部（８）の正面側又は奥側から載置部（８）の直上に容器（Ｆ）を進入させる場合において、載置部（８）の直上への移載装置（３０）又は容器（Ｆ）の進入を検出する進入検出センサ（１８、２８）と、を備える。コントローラ（１３）は、進入検出センサ（１８、２８）の検出結果に基づいて、パージ処理の実施よりも前にパージノズル（８）からパージガスを排出させるように制御する。