METHOD FOR PRODUCING A MULTI-STIMULI SENSOR DEVICE

• Main Authors: COCLITE, Anna Maria, ABU ALI, Taher, STADLOBER, Barbara
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 06.04.2023

Method for producing a multi-stimuli sensor device (1), said method comprising the following steps: a) providing a substrate layer (2) consisting of flexible material; b) creating a first electrode layer (3) by depositing electrical conductive material on the substrate layer (2); c) creating a flexible resin layer (4) by depositing UV-curable resin on top of the first electrode layer (3); d) creating a pattern of recesses (4a) in the flexible resin; e) curing the patterned flexible resin layer (4); f) creating a piezoelectric layer (5) on top of the cured patterned resin layer (4); g) creating a layer of multi-stimuli sensitive hydrogel (5) on top of the piezoelectric layer (5); h) creating a second electrode layer (7) by depositing electrical conductive. L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif de détection à plusieurs stimuli (1), ledit procédé comprenant les étapes suivantes : a) la fourniture d'une couche de substrat (2) consistant en un matériau souple ; b) la création d'une première couche d'électrode (3) par dépôt d'un matériau conducteur électrique sur la couche de substrat (2) ; c) la création d'une couche de résine souple (4) par dépôt d'une résine durcissable aux UV au-dessus de la première couche d'électrode (3) ; d) la création d'un motif d'évidements (4a) dans la résine souple ; e) le durcissement de la couche de résine souple à motifs (4) ; f) la création d'une couche piézoélectrique (5) au-dessus de la couche de résine à motifs durcie (4) ; g) la création d'une couche d'hydrogel sensible à plusieurs stimuli (5) au-dessus de la couche piézoélectrique (5) ; h) la création d'une deuxième couche d'électrode (7) par dépôt d'un conducteur électrique.