COMPUTER SYSTEM AND ANALYSIS METHOD

• Main Authors: KONNO, Azusa, FUJIMURA, Ichiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 02.03.2023
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Provided is technology with which it is possible to easily and efficiently assess/detect an abnormality through comparison of similar cell structures within an observation image. This computer system analyzes an observation image of a sample by using a charged electron beam device. The computer system carries out: an extraction process (step S3) for extracting, from an observation image and as a similar image, one or more second cell regions that are similar to a reference image, the reference image being a first cell region that is designated by a user or that is automatically set; an assessment process (step S6) for comparing, between the reference image and the extracted similar image, a plurality of regions of interest (ROIs) included in the reference image on the basis of a rule in which the relationship between the plurality of ROIs is stipulated, thereby assessing whether an abnormality is present; and an output process (step S7) for outputting, to the user as assessment results, the position of each cell region and whether an abnormality is present therein. L'invention concerne une technologie au moyen de laquelle il est possible d'évaluer/de détecter facilement et efficacement une anomalie par comparaison de structures de cellules similaires dans une image d'observation. Le présent système informatique analyse une image d'observation d'un échantillon à l'aide d'un dispositif à faisceau d'électrons chargé. Le système informatique effectue : un processus d'extraction (étape S3) consistant à extraire, à partir d'une image d'observation et en tant qu'image similaire, une ou plusieurs secondes régions de cellule qui sont similaires à une image de référence, l'image de référence étant une première région de cellule qui est désignée par un utilisateur ou qui est automatiquement définie ; un processus d'évaluation (étape S6) consistant à comparer, entre l'image de référence et l'image similaire extraite, une pluralité de régions d'intérêt (ROI) comprises dans l'image de référence sur la base d'une règle selon laquelle est stipulée la relation entre la pluralité de ROI, ce qui permet d'évaluer si une anomalie est présente ; et un processus de fourniture en sortie (étape S7) consistant à fournir en sortie, à l'utilisateur en tant que résultats d'évaluation, la position de chaque région de cellule et si une anomalie est présente dans cette dernière. 観察画像内の類似するセル構造間の比較による異常の判定・検出を容易・効率的に実現できる技術を提供する。本コンピュータシステムは、荷電粒子ビーム装置による試料の観察画像を解析する。本コンピュータシステムは、観察画像の中から、ユーザが指定した、または自動的に設定した、第１セル領域を基準画像として、基準画像と類似する他の１つ以上の第２セル領域を類似画像として抽出する抽出処理（ステップＳ３）と、基準画像と抽出された類似画像とにおいて、基準画像に含まれている複数の関心領域（ＲＯＩ）の関係性が規定されたルールに基づいて、複数のＲＯＩを比較することで、異常の有無を判定する判定処理（ステップＳ６）と、判定結果として各セル領域の位置および異常の有無をユーザに対し出力させる出力処理（ステップＳ７）とを行う。