RAMAN SENSOR FOR SUPERCRITICAL FLUIDS METROLOGY

• Main Author: MALEEV, Ivan
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 23.02.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; COLORIMETRY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

An apparatus includes a measurement chamber configured to retain one or more sample substances. The apparatus includes an entrance window mounted on a side of the measurement chamber. The apparatus includes a light source configured to generate an incident light beam. The apparatus includes a Raman sensor configured to collect inelastically scattered light from the chamber, and measure an intensity of a Raman peak of a first substance from the one or more sample substances based on the collected inelastically scattered light. The apparatus further includes a processor configured to (i) calculate a concentration of the first substance based on at least the measured intensity of the Raman peak of the first substance, (ii) determine the end point of a wafer cleaning process based on a calculated concentration of the first substance, and (iii) terminate the wafer cleaning process based on the determined end point. Un appareil comprend une chambre de mesure conçue pour retenir une ou plusieurs substances d'échantillon. L'appareil comprend une fenêtre d'entrée montée sur un côté de la chambre de mesure. L'appareil comprend une source de lumière conçue pour générer un faisceau lumineux incident. L'appareil comprend un capteur Raman conçu pour collecter de la lumière diffusée de manière inélastique à partir de la chambre, et mesurer une intensité d'un pic Raman d'une première substance à partir de la ou des substances d'échantillon sur la base de la lumière dispersée inélastiquement collectée. L'appareil comprend en outre un processeur conçu pour (i) calculer une concentration de la première substance sur la base d'au moins l'intensité mesurée du pic Raman de la première substance, (ii) déterminer le point d'extrémité d'un processus de nettoyage de tranche sur la base d'une concentration calculée de la première substance, et (iii) terminer le processus de nettoyage de tranche sur la base du point d'extrémité déterminé.