ELECTROSTATIC HOLDER, OBJECT TABLE AND LITHOGRAPHIC APPARATUS

• Main Authors: HUANG, Zhuangxiong, KRUIZINGA, Matthias, DE VRIES, Sjoerd, BRULS, Richard, VAN GILS, Petrus, ENGELEN, Johannes, TRALLI, Aldo, NAKIBOGLU, Günes, TEUNISSEN, Marcel, GUAN, Tiannan, VAN DER MEULEN, Frits
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 16.02.2023
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

The invention relates to an electrostatic holder comprising: a body, and a clamping element attached to the body, said clamping element comprising an electrode for applying an attractive force between the clamping element and a first to be clamped object, wherein an outer edge of the body is configured to provide a gap between the outer edge of the body and the first to be clamped object, which gap is configured for outputting a fluid for reducing dust particles reaching the first to be clamped object or a second to be clamped object on an opposite side of the holder. L'invention concerne un support électrostatique qui comprend : un corps et un élément de serrage fixé au corps, ledit élément de serrage comprenant une électrode servant à appliquer une force d'attraction entre l'élément de serrage et un premier objet à serrer, un bord externe du corps étant conçu pour fournir un espace entre le bord externe du corps et le premier objet à serrer, ledit espace étant conçu pour délivrer un fluide servant à réduire le nombre de particules de poussière qui atteignent le premier objet à serrer ou un second objet à serrer sur un côté opposé du support.