PHOTODETECTOR, MANUFACTURING METHOD FOR PHOTODETECTOR, AND ELECTRONIC DEVICE

• Main Authors: TODA Atsushi, YAMAMOTO Atsushi, SUZUKI Masayuki, EBIKO Yoshiki, IWASE Toshihito, NATORI Taichi, NOUDO Shinichiro, YOKOCHI Kaito, TAKEUCHI Koichi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 09.02.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

Provided is a photodetector in which optical properties due to the oblique incidence of light at an angle of view edge are improved. The photodetector comprises multiple pixels positioned in rows on a semiconductor substrate. Each of the multiple pixels comprises a photoelectric conversion part that performs photoelectric conversion of incident light, and a deflection part that is positioned on the light incident surface side of the photoelectric conversion part and has a plurality of pillars having different thicknesses or pitches or shapes within the pixel. With regard to a main light ray that enters at a different angle for each image height, the pillars guide the main light ray to the photoelectric conversion part at a prism angle that bends light differently for each pixel. L'invention concerne un photodétecteur dans lequel des propriétés optiques dues à l'incidence oblique de la lumière à un angle de bord de vue sont améliorées. Le photodétecteur comprend de multiples pixels positionnés en rangées sur un substrat semi-conducteur. Chacun des multiples pixels comprend une partie de conversion photoélectrique qui réalise une conversion photoélectrique de la lumière incidente, et une partie de déviation qui est positionnée sur le côté surface d'incidence de lumière de la partie de conversion photoélectrique et comporte une pluralité de piliers ayant des épaisseurs ou des pas ou des formes différentes à l'intérieur du pixel. En ce qui concerne un rayon lumineux principal qui entre à un angle différent pour chaque hauteur d'image, les piliers guident le rayon lumineux principal vers la partie de conversion photoélectrique à un angle de prisme qui incurve la lumière différemment pour chaque pixel. 画角端における光の斜入射による光学特性の改善を図ることができる光検出器を提供する。光検出器は、半導体基板に行列状に配置される複数の画素を備える。複数の画素のそれぞれは、入射した光を光電変換する光電変換部と、光電変換部の光入射面側に配置され、画素内で太さあるいはピッチあるいは形状の異なる複数のピラーを有する偏向部とを備える。ピラーは、像高ごとに異なる角度で入射する入射する主光線に対し、画素ごとに異なって光を曲げるプリズム角で光電変換部に主光線を導く。