THROUGH-THE-LENS HEIGHT MEASUREMENT

• Main Authors: ORON, Ram, GOLAN, Hanina, LUTSKER, Ilia, ERMAK, Oleg, LANDWER, Niv
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 26.01.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

An optical inspection apparatus (10, 140, 180) includes inspection optics (14, 314), including an illumination assembly (16, 316), which includes a reticle containing a predefined pattern and a radiation source configured to emit optical radiation, which illuminates the reticle. Condensing optics (18, 318) project the emitted optical radiation including the pattern (105) of the illuminated reticle (34, 120) onto a workpiece (12, 312). A deflecting element (144, 146, 350, 352) is positioned in the pupil of the condensing optics. An imaging assembly (20, 319) captures an image of the workpiece including a first replica (108) of the pattern projected through a first part of the pupil area and a second replica (110) of the pattern projected through a second part of the pupil area. A processor (24, 324) processes the captured image so as to assess a distance between the inspection optics and the workpiece. Un appareil d'inspection optique (10, 140, 180) comprend une optique d'inspection (14, 314), comprenant un ensemble éclairage (16, 316), comprenant un réticule contenant un motif prédéfini et une source de rayonnement configurée pour émettre un rayonnement optique, qui éclaire le réticule. Une optique de condensation (18, 318) projette le rayonnement optique émis comprenant le motif (105) du réticule éclairé (34, 120) sur une pièce à travailler (12, 312). Un élément de déviation (144, 146, 350, 352) est positionné dans la pupille de l'optique de condensation. Un ensemble imagerie (20, 319) capture une image de la pièce à travailler comprenant une première réplique (108) du motif projeté à travers une première partie de la zone de pupille et une seconde réplique (110) du motif projeté à travers une seconde partie de la zone de pupille. Un processeur (24, 324) traite l'image capturée de façon à évaluer une distance entre l'optique d'inspection et la pièce à travailler.