LASER PROCESSING APPARATUS INCLUDING BEAM ANALYSIS SYSTEM AND METHODS OF MEASUREMENT AND CONTROL OF BEAM CHARACTERISTICS

• Main Authors: UNRATH, Mark, DAVIS, Jay, LORD, David, HASTY, Joe, KOLL, Andrew
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 29.12.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY; MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

Numerous embodiments of a laser-processing apparatus are disclosed. In one embodiment, the laser-processing apparatus includes a laser source operative to generate a beam of laser energy, an acousto-optic deflector (AOD) arranged within a beam path, a controller coupled to the AOD, and a beam analysis system operative to measure characteristics of the beam, generate measurement data representative of the measured beam characteristics, and transmit the measurement data to a controller operative to control the operation of the AOD based on that measurement data. In another embodiment, the laser- processing apparatus includes a system for characterization of cross-axis wobble of a galvanometer mirror, comprising a reference laser source configured to emit a reference laser beam, a reflective surface formed on the galvanometer mirror and configured to reflect the reference laser beam to a sensor configured to output a signal representative of the position of the reference beam to a controller. La divulgation concerne de nombreux modes de réalisation d'un appareil de traitement au laser. Dans un mode de réalisation, l'appareil de traitement au laser comprend une source laser permettant de générer un faisceau d'énergie laser, un déflecteur acousto-optique (AOD) disposé dans un chemin de faisceau, un dispositif de commande couplé à l'AOD, ainsi qu'un système d'analyse de faisceau permettant de mesurer les caractéristiques du faisceau, de générer des données de mesure représentatives des caractéristiques de faisceau mesurées et de transmettre les données de mesure à un dispositif de commande permettant de commander le fonctionnement de l'AOD sur la base de ces données de mesure. Dans un autre mode de réalisation, l'appareil de traitement au laser comprend un système pour la caractérisation de l'oscillation d'axe transversal d'un miroir galvanométrique, comprenant une source laser de référence conçue pour émettre un faisceau laser de référence, une surface réfléchissante formée sur le miroir galvanométrique et conçue pour réfléchir le faisceau laser de référence vers un capteur conçu pour délivrer un signal représentatif de la position du faisceau de référence à un dispositif de commande.