METHOD FOR PREVENTING CONE BLOCKAGE OF INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETER

• Main Authors: ICHINOSE Tatsuya, NISHIGUCHI Kohei, KAWABATA Katsuhiko
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 01.12.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

The present invention provides a method for preventing cone blockage of an inductively coupled plasma mass spectrometer, the method preventing orifices at the cone tips of a sampling cone and a skimmer cone from being blocked by a high-melting-point element such as silicon (Si) or tungsten (W). Provided is a method for preventing cone blockage of an inductively coupled plasma mass spectrometer. The method uses an inductively coupled plasma mass spectrometer provided with a sample introduction part that introduces a sample to be analyzed, a torch part that forms plasma and ionizes the sample, an interface cone part that has a sampling cone and a skimmer cone for taking in ions from the plasma, a mass spectrometry part that separates the ions, and a detection part that detects the separated ions, and is characterized by preventing blockage of orifices at the cone tips of the sampling cone and the skimmer cone by introducing fluorine-based gas or hydrofluoric acid vapor from an injector provided in the torch part. La présente invention concerne un procédé pour empêcher un blocage de cône d'un spectromètre de masse à plasma couplé par induction, le procédé empêchant les orifices au niveau des extrémités de cône d'un cône d'échantillonnage et d'un cône d'écrémeur d'être bloquées par un élément à point de fusion élevé tel que le silicium (Si) ou du tungstène (W). L'invention concerne un procédé pour empêcher un blocage de cône d'un spectromètre de masse à plasma couplé par induction. Le procédé utilise un spectromètre de masse à plasma couplé par induction comportant une partie d'introduction d'échantillon qui introduit un échantillon à analyser, une partie torche qui forme un plasma et ionise l'échantillon, une partie cône d'interface qui a un cône d'échantillonnage et un cône d'écrémeur pour prendre des ions à partir du plasma, une partie de spectrométrie de masse qui sépare les ions, et une partie de détection qui détecte les ions séparés, et est caractérisée en ce qu'elle empêche le blocage d'orifices au niveau des extrémités de cône du cône d'échantillonnage et du cône d'écrémeur en introduisant du gaz à base de fluor ou de la vapeur d'acide fluorhydrique à partir d'un injecteur disposé dans la partie torche. 本発明は、シリコン（Ｓｉ）やタングステン（Ｗ）などの高融点元素により、サンプリングコーンやスキマコーンのコーン先端のオリフィスが閉塞されることを防止する誘導結合プラズマ質量分析装置のコーン閉塞防止方法を提供する。本発明は分析対象の試料を導入する試料導入部と、プラズマを形成して試料をイオン化するトーチ部と、イオンをプラズマから取り入れるためのサンプリングコーンとスキマコーンとを有するインターフェースコーン部と、イオンを分離する質量分析部と、分離したイオンを検出する検出部とを備える誘導結合プラズマ質量分析装置を用いる誘導結合プラズマ質量分析装置のコーン閉塞防止方法において、トーチ部に備えられたインジェクターより、フッ素系ガスまたはフッ化水素酸の蒸気を導入することで、サンプリングコーン及びスキマコーンのコーン先端のオリフィスの閉塞を防止することを特徴とする。