LAMINATE, RELEASE AGENT COMPOSITION, AND METHOD FOR MANUFACTURING MACHINED SEMICONDUCTOR SUBSTRATE

• Main Authors: MORIYA Shunsuke, OKUNO Takahisa
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 06.10.2022
• Subjects: ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; ADHESIVES; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMISTRY; DYES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; LAYERED PRODUCTS; LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT ORNON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM; MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FORELSEWHERE; METALLURGY; MISCELLANEOUS APPLICATIONS OF MATERIALS; MISCELLANEOUS COMPOSITIONS; NATURAL RESINS; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; PAINTS; PERFORMING OPERATIONS; POLISHES; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES

This laminate includes a semiconductor substrate, a light-transmissive support substrate, and an adhesive layer and a release layer provided between the semiconductor substrate and the support substrate, wherein: light emitted from the support substrate side is absorbed by the release layer and then used to cause the semiconductor substrate and the support substrate to be peeled off; the release layer is a layer formed from a release agent composition; and the release agent component has a structure that absorbs the light and contains a compound having a first structure which contributes to the semiconductor substrate and the support substrate being easier to peel off by absorbing the light, and which has two or more aromatic rings constituting a π electron conjugated system, and having a siloxane structure serving as a second structure. L'invention concerne un stratifié comprenant un substrat en semi-conducteur, un substrat de support transmettant la lumière, et une couche adhésive ainsi qu'une couche antiadhésive disposée entre le substrat en semi-conducteur et le substrat de support. Selon l'invention, la lumière émise depuis le côté substrat de support est absorbée par la couche antiadhésive et ensuite utilisée pour amener le substrat en semi-conducteur et le substrat de support à être décollés ; la couche antiadhésive est une couche formée à partir d'une composition d'agent antiadhésif ; et le composant d'agent antiadhésif présente une structure qui absorbe la lumière et contient un composé ayant une première structure qui contribue au fait que le substrat en semi-conducteur et le substrat de support sont plus facile à décoller par absorption de la lumière, et qui possède deux cycles aromatiques ou plus constituant un système conjugué d'électrons π, et ayant une structure de siloxane servant de deuxième structure. 半導体基板と、　光透過性の支持基板と、　前記半導体基板と前記支持基板との間に設けられた、接着層と剥離層とを有し、　前記支持基板側から照射された光を前記剥離層が吸収した後に前記半導体基板と前記支持基板とが剥がされることに用いられる積層体であって、　前記剥離層が、剥離剤組成物から形成される層であり、　前記剥離剤組成物が、前記光を吸収する構造であり、前記光を吸収することによって前記半導体基板と前記支持基板とが剥がされやすくなることに寄与し、かつπ電子共役系を構成する２つ以上の芳香族環を有する第１構造、及び第２構造としてのシロキサン構造を有する化合物を含有する、積層体。