ELECTRON MICROSCOPE, DEVICE FOR MEASURING ELECTRON-PHOTON CORRELATION, AND METHOD FOR MEASURING ELECTRON-PHOTON CORRELATION

• Main Authors: YANAGIMOTO, Sotatsu, SAITO, Hikaru, AKIBA, Keiichirou, SANNOMIYA, Takumi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 15.09.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

An electron microscope of an embodiment according to the present invention is provided with: an electron gun for irradiating electrons onto a sample; an electron detector for detecting electrons irradiated onto the sample; a photon detector for detecting photons emitted from the sample when electrons are irradiated onto the sample; and, a computing unit that, on the basis of the time when the electron detector detects electrons and the time when the photon detector detects photons, computes, for each detected photon, a time difference between the time when electrons are irradiated onto the sample and the time when the photon is emitted from the sample, and computes an electron-photon time correlation indicating the distribution of the time difference. Un microscope électronique d'un mode de réalisation selon la présente invention comprend : un canon à électrons permettant d'irradier électroniquement un échantillon ; un détecteur d'électrons, permettant de détecter l'irradiation électronique de l'échantillon ; un détecteur de photons, permettant de détecter des photons émis par l'échantillon lors de son irradiation électronique ; et une unité de calcul qui, selon l'instant où le détecteur d'électrons détecte des électrons et selon l'instant où le détecteur de photons détecte des photons : calcule, pour chaque photon détecté, une différence de temps entre l'instant d'irradiation électronique sur l'échantillon et l'instant où le photon est émis par l'échantillon ; et calcule une corrélation temporelle entre électrons et photons indiquant la distribution de la différence de temps. 本発明に係る実施形態の電子顕微鏡は、試料に電子を照射する電子銃と、試料に照射された電子を検出する電子検出器と、電子が試料に照射されたときに試料から放出される光子を検出する光子検出器と、電子検出器が電子を検出した時間と、光子検出器が光子を検出した時間とに基づいて、検出された光子ごとに、電子が試料に照射された時間と光子が試料から放出された時間との時間差を演算し、時間差の分布を示す電子－光子時間相関を演算する演算器と、を備える。