SURFACE INSPECTION DEVICE AND PROGRAM

• Main Author: ISHIKAWA Hirokazu
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 15.09.2022
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

The one aspect of the surface inspection device according to the present invention comprises a lighting unit, an imaging unit that captures an image of an object, and an image processing unit. The image processing unit: executes, as preprocessing, processing for calculating a reference peak signal-to-noise ratio, gamma correction processing for generating corrected image data by applying the gamma correction to image data, and processing for generating binary image data by binarizing the corrected image data; executes, when the number of iterations of the preprocessing is not an initial value, processing for identifying, as an address of interest, an address of a pixel having the maximum gradation value on the basis of the binary image data and adding a predetermined value to the gradation value of the pixel positioned at the address of interest from among gradation values included in first synthesized image data; and executes, when the number of iterations of the preprocessing exceeds a prescribed value, as postprocessing, processing for generating first inspection target image data by converting, to a minimum gradation value, gradation values less than or equal to a threshold from among gradation values included in the first synthesized image data stored in a memory. Un aspect du dispositif d'inspection de surface selon la présente invention comprend une unité d'éclairage, une unité d'imagerie qui capture une image d'un objet, et une unité de traitement d'image. L'unité de traitement d'image : exécute, en tant que prétraitement, un traitement pour calculer un rapport signal sur bruit de crête de référence, un traitement de correction gamma pour générer des données d'image corrigées par application de la correction gamma à des données d'image, et un traitement pour générer des données d'image binaire par binarisation des données d'image corrigées ; exécute, lorsque le nombre d'itérations du prétraitement n'est pas une valeur initiale, un traitement pour identifier, en tant qu'adresse d'intérêt, une adresse d'un pixel ayant la valeur de gradation maximale sur la base des données d'image binaire et ajouter une valeur prédéterminée à la valeur de gradation du pixel disposé à l'adresse d'intérêt parmi des valeurs de gradation incluses dans des premières données d'image synthétisées ; et exécute, lorsque le nombre d'itérations du prétraitement dépasse une valeur prescrite, en tant que post-traitement, un traitement pour générer des premières données d'image cible d'inspection par conversion, en une valeur de gradation minimale, des valeurs de gradation inférieures ou égales à un seuil parmi des valeurs de gradation incluses dans les premières données d'image synthétisées stockées dans une mémoire. 本発明の表面検査装置の一つの態様は、照明部と、対象物を撮像する撮像部と、画像処理部と、を備える。画像処理部は、前処理として、基準ピーク信号対雑音比を算出する処理と、画像データにガンマ補正を行うことにより補正画像データを生成するガンマ補正処理と、補正画像データに二値化処理を行うことにより二値画像データを生成する処理と、前処理の繰り返し回数が初期値でないときに、二値画像データに基づいて最大階調値を有する画素のアドレスを注目アドレスとして特定し、第１合成画像データに含まれる階調値のうち、注目アドレスに位置する画素の階調値に所定値を加算する処理と、を実行し、前処理の繰り返し回数が規定値を越えたときに、後処理として、メモリに格納されている第１合成画像データに含まれる階調値のうち、閾値以下の階調値を最小階調値に変換することにより第１被検査画像データを生成する処理を実行する。