TRANSPORT DEVICE

Provided is a transport device (1) capable of suppressing skidding of a workpiece (W) levitated by a non-contact chuck (2). The transport device (1) comprises a plurality of ultrasonic transducers (3) that emit ultrasonic waves, in addition to the non-contact chuck (2) that levitates and holds the w...

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Main Authors ADACHI, Takuya, KIRKBY, Michael, MUNAKATA, Hiroshi
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 15.09.2022
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Summary:Provided is a transport device (1) capable of suppressing skidding of a workpiece (W) levitated by a non-contact chuck (2). The transport device (1) comprises a plurality of ultrasonic transducers (3) that emit ultrasonic waves, in addition to the non-contact chuck (2) that levitates and holds the workpiece (W) in a non-contact manner. The plurality of ultrasonic transducers (3) are configured so as to emit ultrasonic waves to generate standing waves that attract the workpiece (W), and to hold the workpiece (W) in a position where the forces of attraction in a plurality of directions (X, Y) toward the outside of the workpiece (W) are balanced when viewed from the direction (Z) in which the non-contact chuck (2) faces the workpiece (W). L'invention concerne un dispositif de transport (1) capable de supprimer le glissement d'une pièce à travailler (W) en lévitation par un mandrin sans contact (2). Le dispositif de transport (1) comprend une pluralité de transducteurs ultrasonores (3) qui émettent des ondes ultrasonores, en plus du mandrin sans contact (2) qui porte en lévitation et maintient la pièce à travailler (W) d'une manière sans contact. La pluralité de transducteurs ultrasonores (3) sont configurés de façon à émettre des ondes ultrasonores pour générer des ondes stationnaires qui attirent la pièce à travailler (W) et pour maintenir la pièce à travailler (W) dans une position où les forces d'attraction dans une pluralité de directions (X, Y) vers l'extérieur de la pièce à travailler (W) sont équilibrées, lorsqu'elle est considérée à partir de la direction (Z) dans laquelle le mandrin sans contact (2) fait face à la pièce à travailler (W). 非接触チャック(2)により浮揚したワーク(W)の横滑りを抑制できる搬送装置(1)を提供する。搬送装置(1)は、ワーク(W)を浮揚させて非接触で保持する非接触チャック(2)に加え、超音波を放射する複数の超音波振動子(3)を更に備えている。複数の超音波振動子(3)は、超音波を放射してワーク(W)を引き寄せる定在波を発生させ、非接触チャック(2)がワーク(W)に対向する方向(Z)から見て、ワーク(W)の外側に向けて複数の方向(X,Y)に引き寄せる力が釣り合う位置にワーク(W)を保持するように構成されている。
Bibliography:Application Number: WO2021JP09036