DATA FILTER FOR SCANNING METROLOGY

• Main Authors: CARESIO, Cristina, DEN BOER, Jan, KINYANJUI, Tabitha, KNARREN, Bastiaan, ROGACHEVSKIY, Andrey, CENTENO, Raymund, TROGRLIC, Viktor
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 09.09.2022
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

A method of processing a data set comprising equispaced and/or non-equispaced data samples is disclosed. The method comprises filtering of the data, wherein a kernel defined by a probability density function is convoluted over samples in the data set to perform a weighted average of the samples at a plurality of positions across the data set, and wherein a first order regression is applied to the filtered data to provide a processed data output. Un procédé de traitement d'un ensemble de données comprenant des échantillons de données équidistants et/ou non équidistants est divulgué. Le procédé comprend le filtrage des données, un noyau défini par une fonction de densité de probabilité étant convoluté sur des échantillons dans l'ensemble de données pour effectuer une moyenne pondérée des échantillons à une pluralité de positions à travers l'ensemble de données, et une régression de premier ordre étant appliquée aux données filtrées pour fournir une sortie de données traitée.